Optické parametry plazmového polymeru připraveného z tetravinylsilanu

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26310%2F07%3APU70639" target="_blank" >RIV/00216305:26310/07:PU70639 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Optical constants of plasma-polymerized tetravinylsilane films
Popis výsledku v původním jazyce
We have focused on the optical properties of thin plasma-polymerized films deposited from a mixture of tetravinylsilane and oxygen gas and evaluated by means of spectroscopic ellipsometry. The RF effective power of pulsed plasma and the oxygen/total flowrate ratio were varied in broad range. We found a clear link between the RF effective power used and optical properties (refractive index, extinction coefficient, band gap) of the films.
Název v anglickém jazyce
Optical constants of plasma-polymerized tetravinylsilane films
Popis výsledku anglicky
We have focused on the optical properties of thin plasma-polymerized films deposited from a mixture of tetravinylsilane and oxygen gas and evaluated by means of spectroscopic ellipsometry. The RF effective power of pulsed plasma and the oxygen/total flowrate ratio were varied in broad range. We found a clear link between the RF effective power used and optical properties (refractive index, extinction coefficient, band gap) of the films.

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)