Korelace mezi mechanickými, optickými a chemickými vlastnostmi tenkých vrstev deponovaných PECVD

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26310%2F08%3APU77699" target="_blank" >RIV/00216305:26310/08:PU77699 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Correlation between mechanical, optical and chemical properties of thin films deposited by PECVD

Popis výsledku v původním jazyce

Plasma-polymerized films of vinyltriethoxysilane were prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition using an RF (13.56 MHz) helical coupling plasma system operated in a pulsed regime. Thin films deposited under the same deposition conditions butwith different thicknesses (9.5 nm - 10.5 micron) were analyzed with respect to mechanical, optical, and chemical properties. All the films exhibited a layered structure. The overlayer at the film surface with a thickness (0.9 - 34 nm) dependent on the sample thickness was revealed by AFM, nanoindentation, and ellipsometry. A gradient behavior of the refractive index and the Young's modulus within the overlayer was related to the surface morphology of the films. A gradient interlayer at the substrate was also discussed.

Název v anglickém jazyce

Correlation between mechanical, optical and chemical properties of thin films deposited by PECVD

Popis výsledku anglicky

Plasma-polymerized films of vinyltriethoxysilane were prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition using an RF (13.56 MHz) helical coupling plasma system operated in a pulsed regime. Thin films deposited under the same deposition conditions butwith different thicknesses (9.5 nm - 10.5 micron) were analyzed with respect to mechanical, optical, and chemical properties. All the films exhibited a layered structure. The overlayer at the film surface with a thickness (0.9 - 34 nm) dependent on the sample thickness was revealed by AFM, nanoindentation, and ellipsometry. A gradient behavior of the refractive index and the Young's modulus within the overlayer was related to the surface morphology of the films. A gradient interlayer at the substrate was also discussed.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and Coatings Technology

ISSN

0257-8972

e-ISSN

—

Svazek periodika

202

Číslo periodika v rámci svazku

22

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—