Fragmentation of Tetravinyl Silane in Pulsed RF Discharge

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26310%2F09%3APU83914" target="_blank" >RIV/00216305:26310/09:PU83914 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Fragmentation of Tetravinyl Silane in Pulsed RF Discharge

Popis výsledku v původním jazyce

The tetravinylsilane fragmentation was studied in pulsed regime of RF discharge by optical emission spectroscopy. Some simple fragments were recognized. The emission intensities of these fragments were strongly dependent on the duty cycle of the discharge. The electron and rotational temperatures were calculated from the spectra and both of them also depended on the duty cycle. The determined electron temperature of about 3500 K was very low in comparison to the energy needed for the tetravinylsilane fragmentation (about 10 eV) and only a few electrons had sufficient energy for the fragmentation. Thus we suppose that excited states play a significant role in the fragmentation process.

Název v anglickém jazyce

Fragmentation of Tetravinyl Silane in Pulsed RF Discharge

Popis výsledku anglicky

The tetravinylsilane fragmentation was studied in pulsed regime of RF discharge by optical emission spectroscopy. Some simple fragments were recognized. The emission intensities of these fragments were strongly dependent on the duty cycle of the discharge. The electron and rotational temperatures were calculated from the spectra and both of them also depended on the duty cycle. The determined electron temperature of about 3500 K was very low in comparison to the energy needed for the tetravinylsilane fragmentation (about 10 eV) and only a few electrons had sufficient energy for the fragmentation. Thus we suppose that excited states play a significant role in the fragmentation process.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of 17th Symposium on Application of Plasma Processes

ISBN

978-80-89186-45-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

—

Název nakladatele

UK Bratislava

Místo vydání

Bratislava

Místo konání akce

Liptovský Ján

Datum konání akce

23. 1. 2009

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—