Spectroscopy of Plasma Deposition Processes Using Dimethylphenylsilane Precursor

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26310%2F11%3APU90913" target="_blank" >RIV/00216305:26310/11:PU90913 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Spectroscopy of Plasma Deposition Processes Using Dimethylphenylsilane Precursor

Popis výsledku v původním jazyce

The inductively coupled low pressure plasma operating in continuous as well as in pulsed mode was used for the experiments. The aim of the presented experiment was to study the dimethylphenylsilane (DMPS) fragmentation, and the influence of set-up parameters on the deposition process. Fragments of DMPS were identified by optical emission spectroscopy. Dependences of fragment populations on supplied power as well as on DMPS pressure were determined, and consequently, the electron and rotational temperatures were calculated. Some optimal values of set-up parameters as DMPS pressure and duty cycle were found.

Název v anglickém jazyce

Spectroscopy of Plasma Deposition Processes Using Dimethylphenylsilane Precursor

Popis výsledku anglicky

The inductively coupled low pressure plasma operating in continuous as well as in pulsed mode was used for the experiments. The aim of the presented experiment was to study the dimethylphenylsilane (DMPS) fragmentation, and the influence of set-up parameters on the deposition process. Fragments of DMPS were identified by optical emission spectroscopy. Dependences of fragment populations on supplied power as well as on DMPS pressure were determined, and consequently, the electron and rotational temperatures were calculated. Some optimal values of set-up parameters as DMPS pressure and duty cycle were found.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Book of Contributed Papers: 18th Symposium on Application of Plasma Processes and Workshop on Plasmas as a Planetary Atmospheres Mimics

ISBN

978-80-89186-77-8

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

247-251

Název nakladatele

Neuveden

Místo vydání

Bratislava

Místo konání akce

Vrátna

Datum konání akce

15. 1. 2011

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—