Mechanical properties of plasma polymer film evaluated by conventional and alternative nanoindentation techniques

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26310%2F09%3APU84444" target="_blank" >RIV/00216305:26310/09:PU84444 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Mechanical properties of plasma polymer film evaluated by conventional and alternative nanoindentation techniques

Popis výsledku v původním jazyce

A plasma-polymerized tetravinylsilane film of about 1 micron thickness was prepared under steady-state deposition conditions on polished silicon wafer using plasma-enhanced chemical vapor deposition. Near-surface mechanical properties such as the reducedmodulus and hardness of the plasma polymer film were investigated using the conventional depth-sensing nanoindentation technique as well as the load-partial-unload (cyclic) nanoindentation technique. The study found an influence of the dwell time and loading/unloading rate on the determined values of the reduced modulus, hardness, and contact depth.

Název v anglickém jazyce

Mechanical properties of plasma polymer film evaluated by conventional and alternative nanoindentation techniques

Popis výsledku anglicky

A plasma-polymerized tetravinylsilane film of about 1 micron thickness was prepared under steady-state deposition conditions on polished silicon wafer using plasma-enhanced chemical vapor deposition. Near-surface mechanical properties such as the reducedmodulus and hardness of the plasma polymer film were investigated using the conventional depth-sensing nanoindentation technique as well as the load-partial-unload (cyclic) nanoindentation technique. The study found an influence of the dwell time and loading/unloading rate on the determined values of the reduced modulus, hardness, and contact depth.

Druh

O - Ostatní výsledky

CEP obor

CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů