Film thickness measurement by optical profilometer MicroProf FRTMicroProf FRT

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26310%2F13%3APU105708" target="_blank" >RIV/00216305:26310/13:PU105708 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Film thickness measurement by optical profilometer MicroProf FRTMicroProf FRT

Popis výsledku v původním jazyce

This paper compares Chromatic White Light (CWL) and stylus profilometer measurements in an attempt to determine the capabilities of the non-contact CWL method for thickness measurements of thin soft organic films. It was found that the CWL technique is proper for a measurement of thin soft organic films with higher than 40-50 nm film thicknesses. As a complementary feature of the method 2D and 3D surface morphology imaging of the films were recorded and processed by digital calculations and Fourier filtering.

Název v anglickém jazyce

Film thickness measurement by optical profilometer MicroProf FRTMicroProf FRT

Popis výsledku anglicky

This paper compares Chromatic White Light (CWL) and stylus profilometer measurements in an attempt to determine the capabilities of the non-contact CWL method for thickness measurements of thin soft organic films. It was found that the CWL technique is proper for a measurement of thin soft organic films with higher than 40-50 nm film thicknesses. As a complementary feature of the method 2D and 3D surface morphology imaging of the films were recorded and processed by digital calculations and Fourier filtering.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2013

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

BULGARIAN CHEMICAL COMMUNICATIONS

ISSN

0324-1130

e-ISSN

—

Svazek periodika

45

Číslo periodika v rámci svazku

B

Stát vydavatele periodika

BG - Bulharská republika

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

194-197

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—