Optical Properties of a-SiC:H Films Controlled by RF Power

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26310%2F17%3APU126313" target="_blank" >RIV/00216305:26310/17:PU126313 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/proc/proc-contents.php?year=2017" target="_blank" >https://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/proc/proc-contents.php?year=2017</a>
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Optical Properties of a-SiC:H Films Controlled by RF Power
Popis výsledku v původním jazyce
Plasma-enhanced chemical vapor deposition operated in two modes (continuous wave (10-70 W) and pulsed plasma (2-150 W)) was employed to prepare hydrogenated amorphous carbon-silicon (a-SiC:H) films from tetravinylsilane monomer. Optical properties of a-SiC:H films were analyzed by in situ phase modulated spectroscopic ellipsometer (UVISEL, Jobin-Yvon). The dispersion dependence of the dielectric function was fitted by the Tauc-Lorentz formula to determine the RF-power-dependent refractive index, extinction coefficient, and band gap.
Název v anglickém jazyce
Optical Properties of a-SiC:H Films Controlled by RF Power
Popis výsledku anglicky
Plasma-enhanced chemical vapor deposition operated in two modes (continuous wave (10-70 W) and pulsed plasma (2-150 W)) was employed to prepare hydrogenated amorphous carbon-silicon (a-SiC:H) films from tetravinylsilane monomer. Optical properties of a-SiC:H films were analyzed by in situ phase modulated spectroscopic ellipsometer (UVISEL, Jobin-Yvon). The dispersion dependence of the dielectric function was fitted by the Tauc-Lorentz formula to determine the RF-power-dependent refractive index, extinction coefficient, and band gap.

Projekt
<a href="/cs/project/GA16-09161S" target="_blank" >GA16-09161S: Syntéza multifunkčních plazmových polymerů pro polymerní kompozity bez rozhraní</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2017
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)