MEMS jazýčkový rezonátor pro senzorické aplikace

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F15%3APR28416" target="_blank" >RIV/00216305:26620/15:PR28416 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=69" target="_blank" >http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=69</a>
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
MEMS jazýčkový rezonátor pro senzorické aplikace
Popis výsledku v původním jazyce
Jedná se o MEMS gravimetrický převodník tvořený piezoelektrickým nosníkovým rezonátorem buzeným střídavým napětím na jeho resonanční kmitočet. Piezoelektrikum je tvořeno tenkou vrstvou nitridu hlinitého (AlN). Rozměry jazýčků vytvořených na křemíkovém substrátu s SiO2 pasivační vrstvou jsou 200 x 800 um. Spodní elektrodu tvoří vhodně orientovaná vrstva titanu. Vrchní elektroda je tvořena zlatem. Citlivá vrstva se nanáší na konec jazýčku. Pro detekci plynů, vlhkosti, apod. lze například použít různé polymerní materiály nebo oxidy kovů.
Název v anglickém jazyce
MEMS cantilever resonator for sensor applications
Popis výsledku anglicky
A gravimetric MEMS transducer comprising a piezoelectric cantilever resonator excited by the alternating voltage at its resonant frequency. Thin layer of aluminum nitride (AlN) is used as the piezoelectric material. The dimensions of the cantilevers created on the silicon substrate with SiO2 passivation layer are 200 x 800 microns. The lower electrode consists of a suitably oriented layer of titanium. The upper electrode is formed of gold. The sensitive layer is applied to the end of the cantilever. Variety of polymeric materials, metal oxides, etc. can be used for the gas detection.

Projekt
<a href="/cs/project/ED1.1.00%2F02.0068" target="_blank" >ED1.1.00/02.0068: CEITEC - central european institute of technology</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu
MEMS RES 01
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Funkční vzorek byl na základě návrhu zkonstruován a ověřen. Je využíván na pracovišti řešitele LabSensNano (VUT v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Ústav mikroelektroniky, Technická 3058/10, 616 00 Brno, Česká republika). Napájení: AC regulovatelný napěťový zdroj 0-20 V Maximální amplituda AC vstupního napětí: 20 V Testované resonanční frekvence: do 80 MHz Průrazné napětí: DC = 50 V, AC = 25 V Rozměry substrátu: Pouzdro: TO-8
Ekonomické parametry
Vývoj a realizace 30 tis. Kč, know-how 50 tis. Kč
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
00216305
Název vlastníka
Středoevropský technologický institut VUT
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
N - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—

Podobné výsledky(10)