Design and Fabrication of Fully Implantable MEMS Cochlea
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F15%3APU114101" target="_blank" >RIV/00216305:26620/15:PU114101 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.proeng.2015.01.487" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.proeng.2015.01.487</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.proeng.2015.01.487" target="_blank" >10.1016/j.proeng.2015.01.487</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Design and Fabrication of Fully Implantable MEMS Cochlea
Popis výsledku v původním jazyce
The micro-electro-mechanical array for application as fully implantable cochlea is presented in this paper. The complete system including a short overview of energy harvesting and the system configuration is proposed. This study mainly covers mechanical properties of cochlea microfabricated silicon structure. Electro-mechanical simulations are proceeded to optimize the material used for resonators, the size of array membranes and to estimate the resistive change due to the input sound signal. The sound is detected by thin SiXNY diaphragm due to resonant frequency and the displacement of the membrane caused by acoustic pressure. The displacement is detected employing piezoresistive electrodes (NiCr). Design and fabrication process based on MEMS technology are described and discussed. The response measurement of the cochlea structure is performed.
Název v anglickém jazyce
Design and Fabrication of Fully Implantable MEMS Cochlea
Popis výsledku anglicky
The micro-electro-mechanical array for application as fully implantable cochlea is presented in this paper. The complete system including a short overview of energy harvesting and the system configuration is proposed. This study mainly covers mechanical properties of cochlea microfabricated silicon structure. Electro-mechanical simulations are proceeded to optimize the material used for resonators, the size of array membranes and to estimate the resistive change due to the input sound signal. The sound is detected by thin SiXNY diaphragm due to resonant frequency and the displacement of the membrane caused by acoustic pressure. The displacement is detected employing piezoresistive electrodes (NiCr). Design and fabrication process based on MEMS technology are described and discussed. The response measurement of the cochlea structure is performed.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
—
OECD FORD obor
20201 - Electrical and electronic engineering
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Ostatní
Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Proceeedings of DAAAM International Symposium on Intelligent Manufacturing and Automation 2014
ISBN
978-3-901509-99-5
ISSN
1876-6102
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
8
Strana od-do
1224-1231
Název nakladatele
Elsevier Ltd
Místo vydání
Vienna
Místo konání akce
Vienna
Datum konání akce
26. 11. 2014
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
000380551900152