Scanning Double-Beam Laser Interferometer with Loop-Back Compensation and Phase Stabilization
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F19%3APU133143" target="_blank" >RIV/00216305:26620/19:PU133143 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/8826963" target="_blank" >https://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/8826963</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1109/I2MTC.2019.8826963" target="_blank" >10.1109/I2MTC.2019.8826963</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Scanning Double-Beam Laser Interferometer with Loop-Back Compensation and Phase Stabilization
Popis výsledku v původním jazyce
An accurate characterization of piezoelectric films is essential for their usage in various types of MEMS sensors and actuators. This paper presents a novel scanning double-beam laser interferometer (DBLI) to measure the thickness piezoelectric coefficient with a high accuracy. Compared to previous DBLI solutions, we employ a closed-loop phase shift compensation via an electro-optical modulator to stabilize the random phase drift as well as to compensate the harmonic sample-induced phase shift. As a consequence, the setup robustness is enhanced and the measured displacement is no more sensitive to sample reflectivity or source and detector signal gains, which allows to use the DBLI as scanning.
Název v anglickém jazyce
Scanning Double-Beam Laser Interferometer with Loop-Back Compensation and Phase Stabilization
Popis výsledku anglicky
An accurate characterization of piezoelectric films is essential for their usage in various types of MEMS sensors and actuators. This paper presents a novel scanning double-beam laser interferometer (DBLI) to measure the thickness piezoelectric coefficient with a high accuracy. Compared to previous DBLI solutions, we employ a closed-loop phase shift compensation via an electro-optical modulator to stabilize the random phase drift as well as to compensate the harmonic sample-induced phase shift. As a consequence, the setup robustness is enhanced and the measured displacement is no more sensitive to sample reflectivity or source and detector signal gains, which allows to use the DBLI as scanning.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
—
OECD FORD obor
20201 - Electrical and electronic engineering
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/LQ1601" target="_blank" >LQ1601: CEITEC 2020</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2019
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
2019 IEEE International Instrumentation and Measurement Technology Conference (I2MTC 2019) Proceedings
ISBN
978-1-5386-3460-8
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
466-471
Název nakladatele
IEEE
Místo vydání
Piscataway; USA
Místo konání akce
Auckland
Datum konání akce
20. 5. 2019
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
000568630900085