DOUBLE-BEAM MACH-ZEHNDER INTERFEROMETER FOR THIN PIEZOELECTRIC FILMS MEASUREMENT

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F17%3APU123455" target="_blank" >RIV/00216305:26220/17:PU123455 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

DOUBLE-BEAM MACH-ZEHNDER INTERFEROMETER FOR THIN PIEZOELECTRIC FILMS MEASUREMENT

Popis výsledku v původním jazyce

This paper describes a Mach-Zehnder double-beam interferometer for measurement of piezoelectric films thickness displacement. The measurement of the sample from both sides with probing beam leads to suppression of bending effect, which can otherwise strongly degrade the results acquired by other methods. The performances of the setup were tested on a reference PZT sample. The measured piezoelectric coefficient was in agreement with its theoretical value. The described setup utilizes minimal number of the optical components which are necessary for controlled phase drift compensation. Further techniques for performance enhancement are also proposed.

Název v anglickém jazyce

DOUBLE-BEAM MACH-ZEHNDER INTERFEROMETER FOR THIN PIEZOELECTRIC FILMS MEASUREMENT

Popis výsledku anglicky

This paper describes a Mach-Zehnder double-beam interferometer for measurement of piezoelectric films thickness displacement. The measurement of the sample from both sides with probing beam leads to suppression of bending effect, which can otherwise strongly degrade the results acquired by other methods. The performances of the setup were tested on a reference PZT sample. The measured piezoelectric coefficient was in agreement with its theoretical value. The described setup utilizes minimal number of the optical components which are necessary for controlled phase drift compensation. Further techniques for performance enhancement are also proposed.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

20201 - Electrical and electronic engineering

Projekt

—

Návaznosti

S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Rok uplatnění

2017

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 23rd Conference STUDENT EEICT 2017

ISBN

978-80-214-5496-5

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

441-445

Název nakladatele

Neuveden

Místo vydání

Neuveden

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

27. 4. 2017

Typ akce podle státní příslušnosti

CST - Celostátní akce

Kód UT WoS článku

—