Multidimensionální interferometrický odměřovací systém pro AFM mikroskopii - národní etalon pro nanometrologii

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F13%3A00421263" target="_blank" >RIV/68081731:_____/13:00421263 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Multidimensionální interferometrický odměřovací systém pro AFM mikroskopii - národní etalon pro nanometrologii

Popis výsledku v původním jazyce

Příspěvek prezentuje výsledky výzkumu na interferometrickém odměřovacím 6-osém systému pro mikroskopii s lokální sondou. Zařízení bylo vyvíjeno ve spolupráci s Českým metrologickým institutem v Brně a je v sestavě s AFM mikroskopem (mikroskop atomárníchsil) určeno k provozu jako národní nanometrologický etalon. Systém sestává z komerčního nanopolohovacího stolku řízeného piezoelektrickými aktuátory s možností polohování, metrologického rámu a laserem napájené interferometrické sestavy pro odměřování polohy ve všech šesti osách volnosti.

Název v anglickém jazyce

Multidimensional interferometric measuremenr system for AFM microscopy - national standard for nanometrology

Popis výsledku anglicky

We present the design and performance characteristics of 6-axis interferometric measurement system for local probe microscopy. Described measurement tool was developed in colaboration with the Czech Metrological Institute in Brno and it is intended to solve as a national nanometrological standard. The system in based on a commercial nanopositioning sample table controlled by piezoelectric transducers, a metrological frame and a laser interferometric setup for dimensional measurements in six degrees of freedom.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2013

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Sborník příspěvků multioborové konference LASER53

ISBN

978-80-87441-10-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

34-35

Název nakladatele

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Třešť

Datum konání akce

30. 10. 2013

Typ akce podle státní příslušnosti

CST - Celostátní akce

Kód UT WoS článku

—