AFM-in-SEM as a Tool for Comprehensive Sample Surface Analysis

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F20%3APU136563" target="_blank" >RIV/00216305:26620/20:PU136563 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="https://doi.org/10.1017/S1551929520000875" target="_blank" >https://doi.org/10.1017/S1551929520000875</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1017/S1551929520000875" target="_blank" >10.1017/S1551929520000875</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

AFM-in-SEM as a Tool for Comprehensive Sample Surface Analysis

Popis výsledku v původním jazyce

Key features and applications of a unique atomic force microscope (AFM), the LiteScope™, which can be integrated into a scanning electron microscope (SEM) is reported. Using the AFM-in-SEM as one tool combines the capabilities of both systems in a very efficient way. The LiteScope design features advanced Correlative Probe and Electron Microscopy (CPEM)™ imaging technology that allows simultaneous acquisition of multiple AFM and SEM signals and their precise in-time correlation into a 3D CPEM view. AFM-in-SEM advantages are presented using several examples of applications and AFM measurement modes including CPEM, material electrical and mechanical properties together with nanoindentation, and focused ion beam (FIB) applications.

Název v anglickém jazyce

AFM-in-SEM as a Tool for Comprehensive Sample Surface Analysis

Popis výsledku anglicky

Key features and applications of a unique atomic force microscope (AFM), the LiteScope™, which can be integrated into a scanning electron microscope (SEM) is reported. Using the AFM-in-SEM as one tool combines the capabilities of both systems in a very efficient way. The LiteScope design features advanced Correlative Probe and Electron Microscopy (CPEM)™ imaging technology that allows simultaneous acquisition of multiple AFM and SEM signals and their precise in-time correlation into a 3D CPEM view. AFM-in-SEM advantages are presented using several examples of applications and AFM measurement modes including CPEM, material electrical and mechanical properties together with nanoindentation, and focused ion beam (FIB) applications.

Druh

J_ost - Ostatní články v recenzovaných periodicích

CEP obor

—

OECD FORD obor

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

Projekt

<a href="/cs/project/TJ01000434" target="_blank" >TJ01000434: Vývoj aplikací SPM vhodných pro korelativní mikroskopii</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2020

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Microscopy Today

ISSN

2150-3583

e-ISSN

—

Svazek periodika

28

Číslo periodika v rámci svazku

3

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

9

Strana od-do

38-46

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—