Ověřená technologie přípravy antireflexní vrstvy pro vlnovou délku 266 nm

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F24%3APR40059" target="_blank" >RIV/00216305:26620/24:PR40059 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/19196661:_____/24:N0000003

Výsledek na webu

<a href="https://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2025-ovena-technologie-pipravy-antireflexni-vrstvy-pro-vlnovou-delku-266-nm-/" target="_blank" >https://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2025-ovena-technologie-pipravy-antireflexni-vrstvy-pro-vlnovou-delku-266-nm-/</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Ověřená technologie přípravy antireflexní vrstvy pro vlnovou délku 266 nm

Popis výsledku v původním jazyce

Ověřená technologie přípravy antireflexní vrstvy pro vlnovou délku 266 nm pomocí depozice dielektrických vrstev technologií depozice z pevné fáze (PVD) a depozicí atomárních vrstev (ALD). U metody PVD jde technologii napařování pomocí elektronového děla s podporou plasmového děla (Advanced Plasma Source).

Název v anglickém jazyce

Verified technology of antireflection coating fabrication optimized for 266 nm

Popis výsledku anglicky

Verified technology of antireflection coating fabrication optimized for 266 nm utilizng deposition of dielectric layers by physical vapor deposition (PVD) and atomic layer deposition (ALD). In this particular case, PVD means electron-beam evaporation together with Advanced Plasma Source.

Druh

Z_tech - Ověřená technologie

CEP obor

—

OECD FORD obor

20506 - Coating and films

Projekt

<a href="/cs/project/FW06010019" target="_blank" >FW06010019: Výroba optických dílců metodami depozice z plynné fáze Chemical Vapour Deposition a Atomic Layer Deposition</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2024

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu

Trend Meopta vysledek FW06010019

Číselná identifikace

Dokumentace výsledku_FW06010019-V2

Technické parametry

Připravený optický prvek před procesem vrstvení projde:  Mytím, kontrolou čistoty, vizuální kontrolou. Dočištěním liho-étherovou směsí, popř. acetonem. Vložením do zavrstvených kalot.  Závozem do procesní komory depozičního zařízení.  Depoziční proces PVD se skládá z:  Očištění povrchu O2 plasmatem nebo iontovým zdrojem po stanovenou dobu (> 60 sekund), popřípadě zbavení organické kontaminace očištěním v UVO (ozonové čištění). Následné depozice (unikátní číslo programu) s definovanými procesními kroky (předehřátí komory, postupný start jednotlivých depozičních zdrojů, čerpání na mezní hodnotu vakua). Chladnutí, postupné vytažení. Spektrální kontroly – měření odrazivosti včetně testovacích klínů. Kontroly čistoty optického prvku.  Depoziční proces ALD se skládá z:  Zbavení se organické kontaminace očištěním v UVO (ozonové čištění). Následné depozice (unikátní číslo programu) s definovanými procesními kroky (předehřátí komory, postupný start jednotlivých depozičních zdrojů, čerpání na mezní hodnotu vakua) - viz diagram na schématu 1. Chladnutí, postupné vytažení. Spektrální kontroly – měření propustnosti navrstvených svědečných skel. Kontroly čistoty optického prvku.

Ekonomické parametry

Zatím se nepředpokládá komercionalizace, funkční vzorek slouží pro interní potřeby VUT a Meopta (partner projektu, spoluautori vysledku), mezi kterými je sdílen dle aktuální potřeby.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

00216305

Název vlastníka

Vysoké učení technické v Brně

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

V - Výsledek je využíván vlastníkem

Požadavek na licenční poplatek

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

https://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2025-ovena-technologie-pipravy-antireflexni-vrstvy-pro-vlnovou-delku-266-nm-/