Prototyp kolébkového manipulátoru
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F01733214%3A_____%2F14%3A00000004" target="_blank" >RIV/01733214:_____/14:00000004 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Prototyp kolébkového manipulátoru
Popis výsledku v původním jazyce
Kolébkový manipulátor umožnuje manipulaci se vzorkem ve svislé ose z (rozsah 60 mm), náklon (rozsah -2 až 70°), posuvy v osách y (-78 mm až +78 mm) a x (-238 mm až +38 mm). Jako volitelný nástavec lze připojit stolek rotace. Oproti standardním manipulátorům vyniká výrazně větší nosností a delšími posuvy ve vodorovných osách. Díky tomu je možné prohlédnout až 12“ wafer (použity v polovodičovém průmyslu) nebo lze vzorkem přejíždět mezi dvěma pracovními místy pro rastrovací elektronové mikroskopii a Ramanovskou spektrometrii.
Název v anglickém jazyce
Prototype of semi-circular manipulator
Popis výsledku anglicky
The semi-circular manipulator allows sample handling along the vertical z axis (range 60 mm), with tilting (range -2 ° to 70 °), movements along the y- (-78 mm to +78 mm) and x- (-238 mm to +38 mm) axes. An optional adaptation can include a rotary stage. Compared with standard manipulators, this semi-circular one displays significantly greater load capacity and longer movements along the horizontal axis. This makes it possible to observe wafers up to 12" (used in the semiconductor industry) or the sample can be moved between two workstations for scanning electron microscopy and Raman spectroscopy.
Klasifikace
Druh
G<sub>prot</sub> - Prototyp
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/TE01020233" target="_blank" >TE01020233: Platforma pokročilých mikroskopických a spektroskopických technik pro nano a mikrotechnologie</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2014
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
Kolébkový manipulátor
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Nagavalli S. Kiran, kiran@tescan.cz; 530 353 131
Ekonomické parametry
Prototyp přístroje bude v roce 2015 zaveden do výroby. Očekáváme růst zisku plynoucí z diversifikace produktového portfolia.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
01733214
Název vlastníka
TESCAN Brno, s.r.o.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—