Patterning large area plasmonic nanostructures on non-conductive substrates using variable pressure electron beam lithography
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F01733214%3A_____%2F16%3AN0000002" target="_blank" >RIV/01733214:_____/16:N0000002 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://eipbn.omnibooksonline.com/data/papers/2016/4A5.pdf#page=1" target="_blank" >http://eipbn.omnibooksonline.com/data/papers/2016/4A5.pdf#page=1</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1116/1.4966959" target="_blank" >10.1116/1.4966959</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Patterning large area plasmonic nanostructures on non-conductive substrates using variable pressure electron beam lithography
Popis výsledku v původním jazyce
Our research is focused on variable pressure electron beam lithography (VP-EBL). VP-EBL is based on the introduction of residual N2 gas atmosphere in the specimen chamber in order to create positive ions to balance negatively charged sample surface. The main advantage of our approach is no need of any sample pre-exposure or post-exposure treatment.
Název v anglickém jazyce
Patterning large area plasmonic nanostructures on non-conductive substrates using variable pressure electron beam lithography
Popis výsledku anglicky
Our research is focused on variable pressure electron beam lithography (VP-EBL). VP-EBL is based on the introduction of residual N2 gas atmosphere in the specimen chamber in order to create positive ions to balance negatively charged sample surface. The main advantage of our approach is no need of any sample pre-exposure or post-exposure treatment.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/TE01020233" target="_blank" >TE01020233: Platforma pokročilých mikroskopických a spektroskopických technik pro nano a mikrotechnologie</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2016
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Journal of Vacuum Science and Technology B
ISSN
2166-2746
e-ISSN
—
Svazek periodika
34
Číslo periodika v rámci svazku
6
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
“06K801-1”-“06K801-4”
Kód UT WoS článku
000389530000024
EID výsledku v databázi Scopus
—