Prototyp zařízení FIB-SEM umožňující 4D STEM analýzy

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F17774713%3A_____%2F24%3AN0000001" target="_blank" >RIV/17774713:_____/24:N0000001 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Prototyp zařízení FIB-SEM umožňující 4D STEM analýzy

Popis výsledku v původním jazyce

Prototyp FIB-SEM systému je postaven na platformě AMBER G (Ga+ iontový svazek). Prostorová konfigurace systému byla odzkoušena a odladěna na funkčním vzorku. Dedikovaná retrakční mechanika prototypu detektoru umožňuje lepší odvod zbytkového tepla, vakuová průchodka pro kabely je již součástí mechaniky. Na prototypu zařízení je možné kombinovat 4D STEM analýzu s dalšími technikami (EDS, angulárně filtrované BSE, low loss BSE).

Název v anglickém jazyce

Prototype of FIB-SEM device enabling 4D STEM analyses

Popis výsledku anglicky

The prototype of the FIB-SEM system is built on the AMBER G platform (Ga+ ion beam). The spatial configuration of the system was tested and tuned on a functional sample. The dedicated retraction mechanism of the detector prototype allows for better removal of residual heat, and the vacuum feedthrough for cables is already part of the mechanism. On the prototype device, it is possible to combine 4D STEM analysis with other techniques (EDS, angularly filtered BSE, low loss BSE).

Druh

G_prot - Prototyp

CEP obor

—

OECD FORD obor

21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Projekt

<a href="/cs/project/FW06010396" target="_blank" >FW06010396: Čtyřdimenzionální rastrovací transmisní elektronová mikroskopie ve FIB-SEM zařízení</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2024

Kód důvěrnosti údajů

U - Předmět řešení projektu je utajovanou skutečností podle zvláštních právních předpisů nebo je skutečností, jejíž zveřejnění by mohlo ohrozit činnost zpravodajské služby. Údaje o projektu jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné

Interní identifikační kód produktu

AMBER 123-0108

Číselná identifikace

123-0108

Technické parametry

Ovládání a napájení detektoru je plně integrováno do software mikroskopu, čímž je kromě komfortu operátora zajištěna i bezpečnost (interlocky, automatická ochrana před mechanickými kolizemi v komoře) a rychlá akvizice a bezproblémová rekonstrukce SEM obrazu z naměřených pixelových dat (hardwarová synchronizace). Pythonovské akviziční skripty vytvořené za využití SDK od AdvaScope jsou spustitelné přímo z ovládacího software mikroskopu, uživateli umožňují pohodlné řízení akvizice a nastavení podmínek z grafického rozhraní. Vlastním výstupem akvizice je pak 4D datová kostka v otevřeném formátu (hspy), jež je kompatibilní se zavedenými open source programy pro zpracování a interpretaci 4D STEM dat (LiberTEM, py4DSTEM, pixstem...). Ze sofware mikroskopu je rovněž možné přímo spustit program PixetPro (AdvaCam), umožňující pozorování živých difrakcí. Uživatel tak může například průběžně kontrolovat kvalitu získaných difrakčních obrazců během dolešťování lamely nebo výslednou lamelu zarovnat do osy difrakce.

Ekonomické parametry

Produktová řada FIB-SEM systémů už několik let představuje cca 20% z tržeb společnosti TESCAN. Zařízení FIB=SEM se představuje nezbytnou techniku v oblastí materiálové vědy (např. pro přípravě vzorků), pro dalsí analýzy jako např. TEM zobrazování, ale také je součástí základního vybavení sofistikovné výroby v oblasti mikroelektroniky. Předpokládáme, že výstup projektu bude součástí až 15 prodaných ks v roce 2029 a bude jedním z klíčových produktů, které pomohou dosáhnout obratu až 14 mil dolarů. Samotný navrhovaný produkt však bude součástí již existujícího SEM a FIB-SEM řešení, a je tedy zahrnutý v ceně za tato řešení.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

17774713

Název vlastníka

TESCAN GROUP, a.s.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—