Precursor gas composition optimisation for large area boron doped nano-crystalline diamond growth by MW-LA-PECVD

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F26722445%3A_____%2F18%3AN0000008" target="_blank" >RIV/26722445:_____/18:N0000008 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/68378271:_____/18:00489332 RIV/61388955:_____/18:00489332 RIV/68407700:21460/18:00320882

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.carbon.2017.11.063" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.carbon.2017.11.063</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.carbon.2017.11.063" target="_blank" >10.1016/j.carbon.2017.11.063</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Precursor gas composition optimisation for large area boron doped nano-crystalline diamond growth by MW-LA-PECVD

Popis výsledku v původním jazyce

We report on the optimisation of precursor gas composition for the repeatable preparation of large area highly conductive boron doped nano-crystalline diamond layers with low sp(2) content using microwave plasma enhanced linear antenna chemical vapour deposition apparatus. The precursor gas composition parameter space was probed by varying the boron, oxygen and carbon atomic ratios whilst fixing all other parameters constant. By radically increasing the B content and careful consideration of the B and O content in the gas phase, thin B-NCD layers (similar to 300 nm) were prepared over large areas, repeatable, with high boron concentrations (similar to 2 x 10(21) at/cm(3)) and electrical conductivity levels akin to B-NCD layers prepared in conventional MW PECVD systems (> 35 S cm(-1)) with electrochemical properties suitable for industrial applications.

Název v anglickém jazyce

Precursor gas composition optimisation for large area boron doped nano-crystalline diamond growth by MW-LA-PECVD

Popis výsledku anglicky

We report on the optimisation of precursor gas composition for the repeatable preparation of large area highly conductive boron doped nano-crystalline diamond layers with low sp(2) content using microwave plasma enhanced linear antenna chemical vapour deposition apparatus. The precursor gas composition parameter space was probed by varying the boron, oxygen and carbon atomic ratios whilst fixing all other parameters constant. By radically increasing the B content and careful consideration of the B and O content in the gas phase, thin B-NCD layers (similar to 300 nm) were prepared over large areas, repeatable, with high boron concentrations (similar to 2 x 10(21) at/cm(3)) and electrical conductivity levels akin to B-NCD layers prepared in conventional MW PECVD systems (> 35 S cm(-1)) with electrochemical properties suitable for industrial applications.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

20401 - Chemical engineering (plants, products)

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2018

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Carbon

ISSN

0008-6223

e-ISSN

1873-3891

Svazek periodika

128

Číslo periodika v rámci svazku

March

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

8

Strana od-do

164-171

Kód UT WoS článku

000418479900019

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85036452139