Optimalizovaný řídící plně automatizovaný systém pro dodávku par prekurzorů a pracovních plynů do lineárního MW systému s plazmovými kanály

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F27711170%3A_____%2F13%3A%230000036" target="_blank" >RIV/27711170:_____/13:#0000036 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Optimalizovaný řídící plně automatizovaný systém pro dodávku par prekurzorů a pracovních plynů do lineárního MW systému s plazmovými kanály

Popis výsledku v původním jazyce

řídící plně automatizovaný systém, sloužící k ovládání a programování jednotlivých kroků samotného technologického cyklu. Je integrován bezpečnostní modul pro správu zařízení s ohledem blokací a vyloučení nevhodných kombinací procesů a samotných bezpečnostních rizik plynoucích z použití procesních plynů v nevhodných koncentracích či vzájemných kombinacích. Systém umožňuje vytváření a sledování historie a databáze jednotlivých pracovních kroků a parametrů samotných technologických procesů s vazbou na dosažené výsledky a trendy. Toto jak v textovém tak grafickém formátu.

Název v anglickém jazyce

Optimized fully automated control system for precursor vapour and working gas supply into linear MW systém with plasma channels

Popis výsledku anglicky

Fully automated control system for control and programming of single steps of whole technological cycle. A safety modul for machine management with register of blocation and exlusion of inappropriate combinations of process and the very safety risks thatarises from using process gases in inappropriate concentrations or mutual combinations is integrated. System allows creating and monitoring the history, database of single steps and parameters of technological processes with connection to achieved results and trends. Everything is boath in text and in graphical format.

Druh

R - Software

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/TA01011740" target="_blank" >TA01011740: Nízkoteplotní hybridní mikrovlnné plazmové zdroje s vysokým stupněm ionizace uspořádaných v matricové konfiguraci umožňujících depozice perspektivných materiálů a jejich (nano) kompozitů na 2D a 3D objekty</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2013

Kód důvěrnosti údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu

svcon_pm_swo_2013

Technické parametry

systém umožňující zapálení a kontrolu plazmatického výboje, dávkování prekurzorů, průtoků plynů, MFC, řízení výkonu MW generátoru, modulace plazmy. Je integrován bezpečnostní modul pro správu zařízení s ohledem blokací a vyloučení nevhodných kombinací procesů a samotných bezpečnostních rizik plynoucích z použití procesních plynů v nevhodných koncentracích či vzájemných kombinacích. Systém umožňuje vytváření a sledování historie a databáze jednotlivých pracovních kroků a parametrů samotných technologických procesů s vazbou na dosažené výsledky a trendy. Toto jak v textovém tak grafickém formátu.

Ekonomické parametry

Zavedením Řídícího automatizovaného systému pro dodávku par prekurzorů a pracovních plynů do lineárního MW systému s plazmovými kanály do portfolia produktové softwarové řady očekáváme devítiprocentní narůst objemu prodeje v rámci této produktové řady

IČO vlastníka výsledku

27711170

Název vlastníka

SVCS Process Innovation s.r.o.