ALD reaktor pro koncept Minimal Fab
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F27711170%3A_____%2F21%3AN0000001" target="_blank" >RIV/27711170:_____/21:N0000001 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
ALD reaktor pro koncept Minimal Fab
Popis výsledku v původním jazyce
V rámci řešení projektu TAČR byl vyvinut prototyp ALD reaktoru pro depozici na substráty o průměru 12,5 mm aplikovatelný do zařízení konceptu Minimal Fab za účelem depozice tenkých vrstev Al2O3.
Název v anglickém jazyce
ALD reactor for the Minimal Fab concept
Popis výsledku anglicky
Prototype of ALD reactor for deposition of thin aluminium oxide films designed for implementation into the Minimal Fab frame was developed in the frame of TACR project.
Klasifikace
Druh
G<sub>prot</sub> - Prototyp
CEP obor
—
OECD FORD obor
20201 - Electrical and electronic engineering
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/TM01000039" target="_blank" >TM01000039: Minimal Fab design systému depozice po atomárních vrstvách</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2021
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
PT01/SVCS/2021
Číselná identifikace
G
Technické parametry
Velikost substrátu: ½“ (12,5 mm) Maximální teplota substrátu: 450 °C Maximální zdvih držáku vzorků: 42 mm Design s přírubami pro připojení in-situ elipsometru Design s připojením na Minimal Fab load-lock systém Design s možností instalace a využití mikrovlnné surfatronové, nebo induktivně vázané plazma komory pro PE-ALD procesy
Ekonomické parametry
Laboratorní prototyp nezbytný pro další aplikovaný výzkum a finální komercionalizaci výsledků projektu
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
27711170
Název vlastníka
SVCS Process Innovation s.r.o.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—