Technologie replikace a přenosu funkční reliéfní SERS struktury vhodné pro hromadnou replikaci.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F29137756%3A_____%2F25%3AN0000002" target="_blank" >RIV/29137756:_____/25:N0000002 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/68081731:_____/26:00651294

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Technologie replikace a přenosu funkční reliéfní SERS struktury vhodné pro hromadnou replikaci.

Popis výsledku v původním jazyce

Technologie pro replikaci funkčních SERS struktur je založena na rolovém procesu UV vytvrzování předlohy, která byla zhotovena pomocí litografických procesů. Předloha funkčních struktur byla připravena jako anizotropně leptané pyramidy v křemíku přes masku připravenou pomocí elektronové litografie. Reaktivním iontovým leptáním přes rezistovou masku se vyrobila 2. úroveň struktury překrývající leptané pyramidy. Z předlohy leptané ve křemíku se galvanoplastikou vyrobila niklová kopie. Přímou ražbou do plastové podložky se replikovala struktura do požadovaného rozložení a množství. Z této repliky se následně galvanoplastikou vyrobila další niklová kopie. Ta se již použila jako válcový nástroj pro kopírování pomocí procesu UV vytvrzování z role do role do tenké vrstvy UV tvrditelného laku na tenké plastové folii.

Název v anglickém jazyce

Technology for the replication and transfer of relief SERS structure suitable for mass production.

Popis výsledku anglicky

The technology for replicating functional SERS structures is based on a roll-to-roll UV casting process using a master structure fabricated by lithographic techniques. The master structure contains inverted pyramids produced by wet etching of silicon through a mask prepared by e-beam lithography. A second level of microstructure overlapping the pyramids was prepared by reactive ion etching through a resist mask. The master structure was used to create a nickel replica by electroforming. The structure was multiplied into the desired layout by hot embossing into a plastic substrate. Another electroformed nickel replica was prepared from the recombined plastic substrate. This nickel plate, shaped as a cylindrical tool, was used to replicate the structure into a UV-curable lacquer on thin plastic foil using a roll-to-roll UV casting process.

Druh

Z_tech - Ověřená technologie

CEP obor

—

OECD FORD obor

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Projekt

<a href="/cs/project/EI22_002%2F0000650" target="_blank" >EI22_002/0000650: Vývoj standardizovaného nanostrukturovaného substrátu a analytického systému pro rutinní analýzu povrchově zesílenou Ramanovu spektroskopií</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2025

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu

0650 Ztech

Číselná identifikace

Z – ověřená technologie.

Technické parametry

Technologie pro replikaci funkčních SERS struktur v hromadné výrobě. Předloha SERS struktur je připravena elektronovou litografií, mokrým leptáním křemíku a reaktivním iontovým leptáním. Nástroj pro replikaci je zhotoven z niklu pomocí galvanoplastiky a přímé replikace do plastové podložky. Hromadná replikace je prováděna pomocí procesu UV vytvrzování z role do role.

Ekonomické parametry

Ověřená technologie realizovaná při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

29137756, 24279501, 68081731

Název vlastníka

IQS nano s.r.o., IQS Group a.s., Ústav přístrojové techniky AV ČR v.v.i.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—