Optical and Langmuir Probe Diagnostics of O2/Ar Mixture Plasma Used for the Plasma Oxidation of Metals

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F99%3A00000010" target="_blank" >RIV/44555601:13430/99:00000010 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optical and Langmuir Probe Diagnostics of O2/Ar Mixture Plasma Used for the Plasma Oxidation of Metals

Popis výsledku v původním jazyce

V příspěvku jsou uvedeny experimentální výsledky dosažené při studiu technologií přípravy tenkých vrstev modifikovaných plazmochemickými metodami s důrazem na diagnostiku procesů v plazmatu i diagnostiku vytvořených tenkých vrstev.

Název v anglickém jazyce

Optical and Langmuir Probe Diagnostics of O2/Ar Mixture Plasma Used for the Plasma Oxidation of Metals

Popis výsledku anglicky

V příspěvku jsou uvedeny experimentální výsledky dosažené při studiu technologií přípravy tenkých vrstev modifikovaných plazmochemickými metodami s důrazem na diagnostiku procesů v plazmatu i diagnostiku vytvořených tenkých vrstev.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

1999

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Le Vide: science, technique et application

ISSN

1266-0167

e-ISSN

—

Svazek periodika

291

Číslo periodika v rámci svazku

Suppl.

Stát vydavatele periodika

FR - Francouzská republika

Počet stran výsledku

3

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—