The role of internal plasma parameters on carbon nanotubes growth in plasma enhanced hot filament CVD

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F02%3A24210030" target="_blank" >RIV/46747885:24210/02:24210030 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

The role of internal plasma parameters on carbon nanotubes growth in plasma enhanced hot filament CVD

Popis výsledku v původním jazyce

Aligned CNT have been successfully synthesized from methane, argon and hydrogen mixtures by plasma enhanced hot filament CVD on different substrates. In order to inspect the behaviour of the plasma produced with the DC-bias and its role on the aligned growth of the nanotubes, the internal plasma parameters were measured by Langmuir probes and OES techniques. Our experiments confirmed that the presence both of the plasma and the bias are necessary for formation of aligned nanotubes in the dual hot-wire/dc-bias deposition reactor. Several hypotheses about the role of the electrical field on the alignment of the nanotubes will be discussed.

Název v anglickém jazyce

The role of internal plasma parameters on carbon nanotubes growth in plasma enhanced hot filament CVD

Popis výsledku anglicky

Aligned CNT have been successfully synthesized from methane, argon and hydrogen mixtures by plasma enhanced hot filament CVD on different substrates. In order to inspect the behaviour of the plasma produced with the DC-bias and its role on the aligned growth of the nanotubes, the internal plasma parameters were measured by Langmuir probes and OES techniques. Our experiments confirmed that the presence both of the plasma and the bias are necessary for formation of aligned nanotubes in the dual hot-wire/dc-bias deposition reactor. Several hypotheses about the role of the electrical field on the alignment of the nanotubes will be discussed.

Druh

M - Uspořádání konference

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2002

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Místo konání akce

Amsterdam

Stát konání akce

NL - Nizozemsko

Datum zahájení akce

—

Datum ukončení akce

—

Celkový počet účastníků

30

Počet zahraničních účastníků

5

Typ akce podle státní přísl. účastníků

EUR - Evropská akce