Synthesis of aligned carbon nanotubes by DC plasma-enhanced hot filament CVD

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F02%3A24210034" target="_blank" >RIV/46747885:24210/02:24210034 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Synthesis of aligned carbon nanotubes by DC plasma-enhanced hot filament CVD

Popis výsledku v původním jazyce

Aligned structures of carbon nanotubes are promising for electronic and field emission applications. The synthesis can be realized by chemical vapor deposition, namely by catalytic CVD, DC plasma enhanced hot filament CVD, and microwave plasma CVD. Aligned carbon nanotubes have been prepared from different mixtures of methane, hydrogen, argon, and nitrogen on various metal coated silicon substrates between 500 and 800°C by DC plasma enhanced hot filament CVD. In dependence on morphology of the thin metal layer, deposition and plasma parameters different carbon nanostructures have been synthesized. The sputtered metal layer thickness and the hydrogen plasma pretreatment of the metal layer have

Název v anglickém jazyce

Synthesis of aligned carbon nanotubes by DC plasma-enhanced hot filament CVD

Popis výsledku anglicky

Aligned structures of carbon nanotubes are promising for electronic and field emission applications. The synthesis can be realized by chemical vapor deposition, namely by catalytic CVD, DC plasma enhanced hot filament CVD, and microwave plasma CVD. Aligned carbon nanotubes have been prepared from different mixtures of methane, hydrogen, argon, and nitrogen on various metal coated silicon substrates between 500 and 800°C by DC plasma enhanced hot filament CVD. In dependence on morphology of the thin metal layer, deposition and plasma parameters different carbon nanostructures have been synthesized. The sputtered metal layer thickness and the hydrogen plasma pretreatment of the metal layer have

Druh

M - Uspořádání konference

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2002

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Místo konání akce

Amsterdam

Stát konání akce

NL - Nizozemsko

Datum zahájení akce

—

Datum ukončení akce

—

Celkový počet účastníků

30

Počet zahraničních účastníků

5

Typ akce podle státní přísl. účastníků

EUR - Evropská akce