Electron temperature in surfatron-generated plasma-jet in argon measured by double Langmuir probe.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F03%3A24210109" target="_blank" >RIV/46747885:24210/03:24210109 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/60076658:12410/03:00004608

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Electron temperature in surfatron-generated plasma-jet in argon measured by double Langmuir probe.

Popis výsledku v původním jazyce

The diagnosed microwave plasma source consists of a surfatron powered by a microwave magnetron generator, which creates plasma from the flowing argon gas (at flow rate typically 600 sccm) in a quartz nozzle. We present first results of probe diagnostic ogenerated plasma at nozzle exit. The presented diagnostic includes the single and double probe measurements of the radial profile of the plasma-jet and its dependence on the axial position from the nozzle exit at argon pressure 4 kPa and microwave power17 watts. In the future we plan to use the developed plasma source for material surface processing and possibly also in the area of biology and medicine.

Název v anglickém jazyce

Electron temperature in surfatron-generated plasma-jet in argon measured by double Langmuir probe.

Popis výsledku anglicky

The diagnosed microwave plasma source consists of a surfatron powered by a microwave magnetron generator, which creates plasma from the flowing argon gas (at flow rate typically 600 sccm) in a quartz nozzle. We present first results of probe diagnostic ogenerated plasma at nozzle exit. The presented diagnostic includes the single and double probe measurements of the radial profile of the plasma-jet and its dependence on the axial position from the nozzle exit at argon pressure 4 kPa and microwave power17 watts. In the future we plan to use the developed plasma source for material surface processing and possibly also in the area of biology and medicine.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

ICPIG XXVI Confererence , Greifswald, Germany, July 15-20, 2003

ISBN

3-00-011689-3

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

249-250

Název nakladatele

Kiebu-Druck GmbH 2003

Místo vydání

Greifswald, Německo

Místo konání akce

Greifswald, Německo

Datum konání akce

1. 1. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—