Optická a sondová měření v Ar + N2 surfatronovém výboji
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F04%3A24210158" target="_blank" >RIV/46747885:24210/04:24210158 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/60076658:12410/04:00005561
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Optical emission spectroscopy and probe measurement in Ar+N2 surfatron discharge.
Popis výsledku v původním jazyce
Applications of plasma sources in technology, medicine and biomedicine are already known for a longer time. Our work is focused on diagnostics and applications of a microwave plasma source in these areas. The diagnosed microwave-driven plasma source conssts of a surfatron powered by a microwave magnetron generator, working at 2.45 GHz in the output power range 0 - 300 W, which creates plasma from the working gas flowing through the quartz nozzle. We present some results of diagnostics of generated plamaat nozzle exit at different experimental conditions: variable absorbed power, total chamber pressure etc. The diagnostics of plasma column was performed by means of double Langmuir probe measurement and optical emission spectroscopy.
Název v anglickém jazyce
Optical emission spectroscopy and probe measurement in Ar+N2 surfatron discharge.
Popis výsledku anglicky
Applications of plasma sources in technology, medicine and biomedicine are already known for a longer time. Our work is focused on diagnostics and applications of a microwave plasma source in these areas. The diagnosed microwave-driven plasma source conssts of a surfatron powered by a microwave magnetron generator, working at 2.45 GHz in the output power range 0 - 300 W, which creates plasma from the working gas flowing through the quartz nozzle. We present some results of diagnostics of generated plamaat nozzle exit at different experimental conditions: variable absorbed power, total chamber pressure etc. The diagnostics of plasma column was performed by means of double Langmuir probe measurement and optical emission spectroscopy.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/OC%20527.60" target="_blank" >OC 527.60: Studium vlivu typu výboje na vlastnosti deponovaných vrstev</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2004
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
WDS 04 Proceedings of Contributed Papers II (ed. J.Šafránková)
ISBN
80-86732-32-0
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
339-343
Název nakladatele
Matfyzpress
Místo vydání
Praha, Česká republika
Místo konání akce
Praha, Česká republika
Datum konání akce
1. 1. 2004
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—