Plazmová diagnostika pro charakterizaci procesů.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F04%3A24210213" target="_blank" >RIV/46747885:24210/04:24210213 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Plasma diagnostic for process characterization.

Popis výsledku v původním jazyce

Applications of plasma sources in technology, medicine and biomedicine are already known for a longer time. Our work is focused on diagnostics and applications of a microwave plasma source in these areas. The diagnosed microwave?driven plasma source conssts of a surfatron powered by a microwave magnetron generator, working at 2.45 GHz in the output power range (0 ÷ 300) W, which creates plasma from the working gas flowing through the quartz nozzle. We present results of diagnostics of generated plasma anozzle exit at different experimental conditions: variable absorbed power, total chamber pressure etc. The diagnostics of plasma column was performed by means of double Langmuir probe measurement and optical emission spectroscopy. PACS: 52.90+z, 52.70.Kz

Název v anglickém jazyce

Plasma diagnostic for process characterization.

Popis výsledku anglicky

Applications of plasma sources in technology, medicine and biomedicine are already known for a longer time. Our work is focused on diagnostics and applications of a microwave plasma source in these areas. The diagnosed microwave?driven plasma source conssts of a surfatron powered by a microwave magnetron generator, working at 2.45 GHz in the output power range (0 ÷ 300) W, which creates plasma from the working gas flowing through the quartz nozzle. We present results of diagnostics of generated plasma anozzle exit at different experimental conditions: variable absorbed power, total chamber pressure etc. The diagnostics of plasma column was performed by means of double Langmuir probe measurement and optical emission spectroscopy. PACS: 52.90+z, 52.70.Kz

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/OC%20527.60" target="_blank" >OC 527.60: Studium vlivu typu výboje na vlastnosti deponovaných vrstev</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

III. Joint meeting COST 527, Sant Feliu de Guoix, Spain, 11-12.6.2004

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

1

Strana od-do

—

Název nakladatele

Neuveden

Místo vydání

Spain

Místo konání akce

Spain

Datum konání akce

1. 1. 2004

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—