Porovnání povlaků oxidu titanu vyloučených PVD a PECVD.
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F04%3A24210172" target="_blank" >RIV/46747885:24210/04:24210172 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Comparison of titanium oxide coatings deposited by PVD and PECVD.
Popis výsledku v původním jazyce
Composition and structure of thin layers are determined by deposition method and deposition parameters. Properties of coatings involving mechanical, tribological, optical, electri- cal, and other properties are closely connected to their compo- sition anstructure which means that their functionality is directly determined by the used deposition method. One of the new and very interesting coatings is the titanium oxide thin film. Large application of this film involves protective hard coatings on cuttingtool, optical films for optical filters or photo-catalytic layers. Each application set different demands on the film properties. The aim of the presented work is a comparison of titanium oxide coatings deposited by physical vapor deposition (PVD) and plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) from various precursors. The films were characterized by various techniques including measurements of hardness and thickness by the ball-and-crater method (Calotest).
Název v anglickém jazyce
Comparison of titanium oxide coatings deposited by PVD and PECVD.
Popis výsledku anglicky
Composition and structure of thin layers are determined by deposition method and deposition parameters. Properties of coatings involving mechanical, tribological, optical, electri- cal, and other properties are closely connected to their compo- sition anstructure which means that their functionality is directly determined by the used deposition method. One of the new and very interesting coatings is the titanium oxide thin film. Large application of this film involves protective hard coatings on cuttingtool, optical films for optical filters or photo-catalytic layers. Each application set different demands on the film properties. The aim of the presented work is a comparison of titanium oxide coatings deposited by physical vapor deposition (PVD) and plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) from various precursors. The films were characterized by various techniques including measurements of hardness and thickness by the ball-and-crater method (Calotest).
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JK - Koroze a povrchové úpravy materiálu
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2004
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
47th SVC Annual Technical Conference Proceeding
ISBN
—
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
46-49
Název nakladatele
Society of Vacuum Coaters
Místo vydání
Dallas, USA
Místo konání akce
Dallas, USA
Datum konání akce
1. 1. 2004
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—