Vlastnosti uhlíkových povlaků vyloučených v mikrovlnovém radiofrekvenčním plazmovém reaktoru.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F05%3A24210252" target="_blank" >RIV/46747885:24210/05:24210252 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Properties of carbon coatings deposited in microwave - radio frequencyplasma reactor.

Popis výsledku v původním jazyce

Carbon layers were prepared in microwave and radio frequency plasma reactor using dual frequency method (MW/RF PCVD - microwave nad radio frequency plasma chemical vapour deposition). The parameters of the deposition were optimised to get uniform films othe stainless steel AISI 316 L. Four films were obtained from different mixtures of gases (methan/argon), different microwave power and bias voltage values. Under the terms of testing carbon films, the evaluation by nanoindentation method was carried out. The aim of this study was examination of potential dependence between nanohardness of carbon layers and their deposition conditions. Nanoindentation experiments were conducted using a Nanoindentor XP with a diamond Berkovich pyramid indentor.

Název v anglickém jazyce

Properties of carbon coatings deposited in microwave - radio frequencyplasma reactor.

Popis výsledku anglicky

Carbon layers were prepared in microwave and radio frequency plasma reactor using dual frequency method (MW/RF PCVD - microwave nad radio frequency plasma chemical vapour deposition). The parameters of the deposition were optimised to get uniform films othe stainless steel AISI 316 L. Four films were obtained from different mixtures of gases (methan/argon), different microwave power and bias voltage values. Under the terms of testing carbon films, the evaluation by nanoindentation method was carried out. The aim of this study was examination of potential dependence between nanohardness of carbon layers and their deposition conditions. Nanoindentation experiments were conducted using a Nanoindentor XP with a diamond Berkovich pyramid indentor.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JJ - Ostatní materiály

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Seminar Nanotechnology and Vacuum

ISBN

80-969435-0-2

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

1

Strana od-do

20

Název nakladatele

CEVATECH

Místo vydání

Bratislava, Slovakia

Místo konání akce

Bratislava, Slovakia

Datum konání akce

1. 1. 2005

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—