Studium pronikání aktivních PECVD metodou.
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F07%3A%40KMT0126" target="_blank" >RIV/46747885:24210/07:@KMT0126 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Study of active particles penetration by PECVD method.
Popis výsledku v původním jazyce
In this work behavior of active particles during process of plasma polymerization by PECVDmethod was investigated. Experimental and theoretical part of the study were carried outsimultaneously.Measurements were taken on the specially constructed closed-slot substrate. Thanks to thissubstrate design, penetration of the active particles during the deposition could be measured.Theoretical part consisted of the mathematical model developement and its implementationas a computer simulation.
Název v anglickém jazyce
Study of active particles penetration by PECVD method.
Popis výsledku anglicky
In this work behavior of active particles during process of plasma polymerization by PECVDmethod was investigated. Experimental and theoretical part of the study were carried outsimultaneously.Measurements were taken on the specially constructed closed-slot substrate. Thanks to thissubstrate design, penetration of the active particles during the deposition could be measured.Theoretical part consisted of the mathematical model developement and its implementationas a computer simulation.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JK - Koroze a povrchové úpravy materiálu
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/1M0577" target="_blank" >1M0577: Výzkumné centrum pro nanopovrchové inženýrství</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
International Student Conference of Department of Material Science
ISBN
978-80-7372-255-5
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
2
Strana od-do
23-24
Název nakladatele
Technical University of Liberec
Místo vydání
Liberec
Místo konání akce
Liberec
Datum konání akce
9. 10. 2007
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—