Ověřená technologie výroby antireflexních vrstev s vysokou propustností na vlnových délkách 213 nm a 248 nm

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F20%3AN0000026" target="_blank" >RIV/47677023:_____/20:N0000026 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Ověřená technologie výroby antireflexních vrstev s vysokou propustností na vlnových délkách 213 nm a 248 nm
Popis výsledku v původním jazyce
Návrh a výroba antireflexních vrstev v hluboké ultrafialové oblasti na specifických vlnových délkách 213 nm a 248 nm za použití technologie elektronového napařování nízkoabsorpčního vysokoindexového materiálů Al2O3 a nízkoindexového materiálu SiO2.
Název v anglickém jazyce
Proved technology of fabrication of antireflection coating with high value of transmission at wavelengths 213 nm and 248 nm
Popis výsledku anglicky
Design and fabrication of antireflection coating layers in deep ultraviolet region at the specific wavelengths as 213 nm and 248 nm using the e-gun evaporation technology of low absorption materials as high index Al2O3 and low index SiO2

Projekt
<a href="/cs/project/FV40328" target="_blank" >FV40328: Realizace vrstevnatých systémů s požadovanými spektrálními závislostmi odrazivosti a propustnosti ve střední ultrafialové oblasti spektra</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2020
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu
MEO_DP0026_2020_OT02
Číselná identifikace
—
Technické parametry
T> 99,8 % na vrstvu: R< 0,05 %, A < 0,1 % pro 248 nm; T> 98,5 % na vrstvu: R< 0,1 %, A < 0,1 % pro 213 nm;
Ekonomické parametry
Bude využito při výrobě pro klíčové zákazníky v oblasti semicon průmyslu.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
47677023
Název vlastníka
Meopta - optika, s.r.o.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Požadavek na licenční poplatek
—
Adresa www stránky s výsledkem
—

Podobné výsledky(10)