Antireflexní vrstva na substrátu ve specifikaci T>=99,8 %@ 248 nm a T>=98,5 % @ 213 nm

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F20%3APR37524" target="_blank" >RIV/00216305:26210/20:PR37524 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/47677023:_____/20:N0000027
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Antireflexní vrstva na substrátu ve specifikaci T>=99,8 %@ 248 nm a T>=98,5 % @ 213 nm
Popis výsledku v původním jazyce
Antireflexní vrstvy vyrobené kombinací vysokoindexového materiálu Al2O3 a nízkoindexového materiálu SiO2 splňující následující specifikace v hluboké ultrafialové oblasti, vrstva 1: T>=99,8 % @248 nm, vrstva 2: T>=98,5 % @213 nm
Název v anglickém jazyce
Antireflection coating on the substrate in specification: T>=99,8 % at 248 nm and T>=98,5 % at 213 nm.
Popis výsledku anglicky
Antireflection coating layers fabricated in combination of high index Al2O3 and low index SiO2 materials with following specification in deep ultraviolet region, design 1: T>=99,8 % at 248 nm and design 2: T>=98,5 % at 213 nm

Projekt
<a href="/cs/project/FV40328" target="_blank" >FV40328: Realizace vrstevnatých systémů s požadovanými spektrálními závislostmi odrazivosti a propustnosti ve střední ultrafialové oblasti spektra</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2020
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu
MEO_DP0026_2020_GFUNK01
Číselná identifikace
182550
Technické parametry
T> 99,8 % na vrstvu: R< 0,05 %, A < 0,1 % pro 248 nm; T> 98,5 % na vrstvu R< 0,1 %, A< 0,1 % pro 213 nm;
Ekonomické parametry
Bude využito při výrobě pro klíčové zákazníky v oblasti semicon průmyslu.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
00216305
Název vlastníka
Vysoké učení technické v Brně
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Požadavek na licenční poplatek
—
Adresa www stránky s výsledkem
—

Podobné výsledky(10)