Ověřená technologie výroby vrstev s vysokou odrazivostí na vlnových délkách 213 nm a 248 nm.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F21%3AN0000009" target="_blank" >RIV/47677023:_____/21:N0000009 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Ověřená technologie výroby vrstev s vysokou odrazivostí na vlnových délkách 213 nm a 248 nm.

Popis výsledku v původním jazyce

Ověřená technologie výroby vrstev procesy elektronového napařování vysokoindexových materiálu Al2O3 pro vlnovou oblast 213 nm a HfO2 pro 248 nm v kombinaci s nízkoindoxovým materiálem SiO2 pro realizaci vysocereflexních, dále antireflexních a dělicích vrstev v hluboké ultrafialové oblasti. Zahrnuje klíčovými požadavky na kvalitu, přípravu a čistotu substrátů, depozičního stroje, deponovaných materiálů a samotný výrobní proces včetně monitorování růstu vrstev. Kombinací těchto faktorů je možné dosáhnout R > 98,5 % zvlášť pro vlnové délky 213 nm a 248 nm.

Název v anglickém jazyce

Technology of fabrication high reflective coating on wavelength 213 nm and 248 nm.

Popis výsledku anglicky

Proven technology of optical coating provided by electron vapor deposition processes of high-index materials Al2O3 for the wavelength region 213 nm and HfO2 for 248 nm in combination with low-index material SiO2 for realization of high-reflection, anti-reflection and beamsplitting layers in deep ultraviolet region. It includes key requirements for the quality, preparation and cleaness of substrates, the deposition machine, the coating materials and the production process itself, including thin film layer growth monitoring. By combining these factors, it is possible to achieve an R> 98.5% separately for the wavelengths 213 nm and 248 nm.

Druh

Z_tech - Ověřená technologie

CEP obor

—

OECD FORD obor

20506 - Coating and films

Projekt

<a href="/cs/project/FV40328" target="_blank" >FV40328: Realizace vrstevnatých systémů s požadovanými spektrálními závislostmi odrazivosti a propustnosti ve střední ultrafialové oblasti spektra</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2021

Kód důvěrnosti údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu

MEO_DP0026_2021_OT3

Číselná identifikace

—

Technické parametry

Ověřená technologie napařování tenkých optických vrstev pro DUV spektrální oblast 213 nm a 248 nm.

Ekonomické parametry

Bude použito ve výrobě.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

47677023

Název vlastníka

Meopta - optika, s.r.o.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Požadavek na licenční poplatek

N - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—