Ověřená technologie výroby dělicích vrstev na vlnové délce 248 nm

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F22%3AN0000012" target="_blank" >RIV/47677023:_____/22:N0000012 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Ověřená technologie výroby dělicích vrstev na vlnové délce 248 nm

Popis výsledku v původním jazyce

Ověřená technologie výroby vrstev procesem reaktivního magnetronového napařování pro vlnovou délku 248 nm. Kombinace vysokoindexových optických materiálů tenkých vrstev HfO2, Al2O3 s nízkoindexovým materiálem SiO2 pro realizaci vysokoreflexních, dále antireflexních a dělicích vrstev v hluboké ultrafialové oblasti. Zahrnuje klíčové požadavky na kvalitu, přípravu a čistotu substrátů, depozičního stroje, deponovaných materiálů a samotný výrobní proces včetně monitorování růstu vrstev. Kombinací těchto faktorů je možné dosáhnout děliče světla o specifikaci: propustnost pro p-složku 50 % ± 3 % při úhlu dopadu 45° ± 3° na vlnové délce 248 nm a zároveň odrazivost pro s-složku 50 % ± 5 % při úhlu dopadu 45° ± 3° ve vlnových délkách od 630 nm do 670 nm, dále děliče ve specifikaci průměrná propustnost vyšší než 98,5 %, odrazivost pro p-složku v rozmezí od 0,4 % do 0,75 % a odrazivost pro s-složku menší než 1 % při úhlu dopadu 45° ± 3° na vlnové délce 248 nm a zároveň odrazivost pro s-složku 25 % ± 5 % při úhlu dopadu 45° ± 3° ve vlnových délkách 630 nm až 670 nm.

Název v anglickém jazyce

Technology of fabrication of beam splitters on wavelength 248 nm by reactive magnetron sputtering technology.

Popis výsledku anglicky

Proven coating production technology by the reactive magnetron evaporation process for a wavelength of 248 nm. Combination of high-index optical materials of thin layers HfO2, Al2O3 with low-index material SiO2 for realization of high-reflective, anti-reflective and dividing layers in the deep ultraviolet region. It includes key requirements for the quality, preparation and cleanliness of the substrates, deposition machine, deposited materials and the production process itself, including layer growth monitoring. By combining these factors, it is possible to achieve a beam splitter with the following specification: transmittance for the p-component 50 % ± 3 % at an angle of incidence 45° ± 3° at a wavelength of 248 nm and at the same time reflectance for the s-component 50 % ± 5 % at an angle of incidence 45° ± 3° in wavelengths from 630 nm to 670 nm, further dividers with an average transmittance higher than 98.5 %, reflectance for the p-component in the range from 0.4 % to 0.75 % and reflectance for the s-component less than 1 % at an angle of incidence of 45° ± 3° at a wavelength of 248 nm and at the same time a reflectance for the s-component of 25 % ± 5 % at an angle of incidence of 45° ± 3° in wavelengths of 630 nm to 670 nm.

Druh

Z_tech - Ověřená technologie

CEP obor

—

OECD FORD obor

20506 - Coating and films

Projekt

<a href="/cs/project/FV40328" target="_blank" >FV40328: Realizace vrstevnatých systémů s požadovanými spektrálními závislostmi odrazivosti a propustnosti ve střední ultrafialové oblasti spektra</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2022

Kód důvěrnosti údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu

MEO_DP0026_2022_OT04

Číselná identifikace

—

Technické parametry

Ověřená technologie depozice tenkých optických vrstev pomocí reaktivního magnetronového naprašování pro DUV spektrální oblast 248 nm aplikovaná na děliče světla.

Ekonomické parametry

Bude použito ve výrobě.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

47677023

Název vlastníka

Meopta - optika, s.r.o.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—