Dělicí vrstvy na substrátech s parametry Rp = 50 % ± 3 % @248 nm; Rp = <0,4; 0,75> a Rs < 1 % @248 nm.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F22%3AN0000005" target="_blank" >RIV/47677023:_____/22:N0000005 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Dělicí vrstvy na substrátech s parametry Rp = 50 % ± 3 % @248 nm; Rp = <0,4; 0,75> a Rs < 1 % @248 nm.

Popis výsledku v původním jazyce

Realizace děličů světla splňující požadavky odrazivosti a propustnosti na pracovní vlnové délce 248 nm a inspekční vlnové délce v intervalu <630, 670> nm. Vrstvy prvního děliče byly připraveny technologií magnetronového naprašování kombinací materiálů HfO2/SiO2 a splňují specifikaci: propustnost pro p-složku 50 % ± 3 % při úhlu dopadu 45° ± 3° na vlnové délce 248 nm a zároveň odrazivost pro s-složku 50 % ± 5 % při úhlu dopadu 45° ± 3° ve vlnových délkách od 630 nm do 670 nm. Vrstvy druhého děliče byly připraveny technologií magnetronového naprašování kombinací materiálů Al2O3/SiO2 a splňují specifikaci průměrná propustnost vyšší než 98,5 %, odrazivost pro p-složku v rozmezí od 0,4 % do 0,75 % a odrazivost pro s-složku menší než 1 % při úhlu dopadu 45° ± 3° na vlnové délce 248 nm a zároveň odrazivost pro s-složku 25 % ± 5 % při úhlu dopadu 45° ± 3° ve vlnových délkách 630 nm až 670 nm.

Název v anglickém jazyce

Set of beam splitters coating in specification with parameters of the first beam splitter Rp = 50% ± 3% @248 nm; and second beamsplitter Rp = <0.4; 0.75> and Rs < 1 % at a wavelength of 248 nm and increased transmittance in the region from 630 nm to 670 nm.

Popis výsledku anglicky

Realization of beam splitters meeting the requirements of reflectivity and transmittance at the working wavelength of 248 nm and the inspection wavelength in the interval <630, 670> nm. The layers of the first beam splitter were prepared by magnetron sputtering technology using a combination of HfO2/SiO2 materials and meet the specification: transmittance for the p-component 50 % ± 3 % at an incidence angle of 45° ± 3° at a wavelength of 248 nm and at the same time reflectivity for the s-component 50 % ± 5 % at an incidence angle of 45° ± 3° in wavelengths from 630 nm to 670 nm. The coating of the second divider was provide by magnetron sputtering technology with a combination of Al2O3/SiO2 materials and meet the specification of an average transmittance higher than 98.5 %, a reflectance for the p-component ranging from 0.4% to 0.75% and a reflectance for the s-component less than 1 % at an angle of incidence of 45° ± 3° at a wavelength of 248 nm and at the same time a reflectance for the s-component of 25 % ± 5 % at an angle of incidence of 45° ± 3° in wavelengths of 630 nm to 670 nm.

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

—

OECD FORD obor

20506 - Coating and films

Projekt

<a href="/cs/project/FV40328" target="_blank" >FV40328: Realizace vrstevnatých systémů s požadovanými spektrálními závislostmi odrazivosti a propustnosti ve střední ultrafialové oblasti spektra</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2022

Kód důvěrnosti údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu

MEO_DP0026_2022_GFUNK03

Číselná identifikace

—

Technické parametry

Soubor dělicích vrstev ve specifikaci s parametry prvního děliče Rp = 50 % ± 3 % @248 nm; druhého děliče Rp = <0,4; 0,75> a Rs < 1 % na vlnové délce 248 nm a zvýšenou propustností v oblasti od 630 nm do 670 nm připravených technologií reaktivního magnetronového napařování kombinující vrstvy HfO2/SiO2, popř. Al2O3/SiO2.

Ekonomické parametry

Bude použito ve výrobě.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

47677023, 00216224, 00216035,

Název vlastníka

Meopta - optika, s.r.o., Masarykova univerzita, VUT v Brně, Český metrologický institut

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—