PŘEDDEPOZIČNÍ PROCESY PŘI VÝROBĚ TENKÝCH VRSTEV

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23210%2F06%3A00000004" target="_blank" >RIV/49777513:23210/06:00000004 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
PŘEDDEPOZIČNÍ PROCESY PŘI VÝROBĚ TENKÝCH VRSTEV
Popis výsledku v původním jazyce
Tento článek navazuje na předchozí publikace věnující se problematice iontového čištění substrátu před depozicí tenké vrstvy a rozšiřuje svoje zaměření také na ostatní techniky používané při přípravě substrátu na depozici. V článku jsou popsány různé metody čištění substrátu se zaměřením na studia vlivu těchto procesů na výsledné vlastnosti systému tenká vrstva substrát. Článek zatím není souhrnem výsledků experimentů, pouze otevírá náhled do zatím málo analyzované oblasti předdepozičních procesů.
Název v anglickém jazyce
PREDEPOSITION PROCESS OF THIN LAYERS
Popis výsledku anglicky
This article connects on previous publications, related to the problematics of ion cleaning process before thin layer deposition and it extends the concentration on other technics used during the substrate preparation. There are described various methodsof the substrate cleaning with the concentration on the study of its influence on the final properties of the thin layer-substrate system. The article is not the conclusion of experiments for the present, but it is only the extended view to the poorly analysed area of the predeposition processes.

Projekt
<a href="/cs/project/FI-IM2%2F054" target="_blank" >FI-IM2/054: *Vývoj a zavedení výroby nových nástrojů s využitím progresivních nanovrstev a sendvičových tenkých vrstev pro obrábění těžkoobrobitelných materiálů.</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2006
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)