Microwave plasma nitriding of a low-alloy steel

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F00%3A00057347" target="_blank" >RIV/49777513:23520/00:00057347 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Microwave plasma nitriding of a low-alloy steel

Popis výsledku v původním jazyce

A low-alloy steel was nitrided in the downstream zone of an electron cyclotron resonance (ECR) discharge at low pressure (0.15-0.25 Pa). Structure and properties of the nitrided surfaces were primarily controlled by the temperature Ts, the nitrogen-hydrogen-argon gas mix composition, and the substrate bias voltage Ub (-1000 - +40 V) at a typical value of the incident microwave power Pi = 900 W, the distance of the substrate from output aperture of the ECR source was d = 250 mm, and the nitriding time t= 2 h.

Název v anglickém jazyce

Microwave plasma nitriding of a low-alloy steel

Popis výsledku anglicky

A low-alloy steel was nitrided in the downstream zone of an electron cyclotron resonance (ECR) discharge at low pressure (0.15-0.25 Pa). Structure and properties of the nitrided surfaces were primarily controlled by the temperature Ts, the nitrogen-hydrogen-argon gas mix composition, and the substrate bias voltage Ub (-1000 - +40 V) at a typical value of the incident microwave power Pi = 900 W, the distance of the substrate from output aperture of the ECR source was d = 250 mm, and the nitriding time t= 2 h.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2000

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Vacuum Science and Technology A

ISSN

07342101

e-ISSN

—

Svazek periodika

—

Číslo periodika v rámci svazku

č. 6

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

7

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—