Control of structure in magnetron sputtered thin film

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F01%3A00064893" target="_blank" >RIV/49777513:23520/01:00064893 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Control of structure in magnetron sputtered thin film

Popis výsledku v původním jazyce

The paper describes two methods which can be used to control the film structure: (1) the energy delivered to the growing film, i.e. (i) substrate heating and (ii) ion bombardment; and (2) the interlayer inserted between the substrate and the film. Thesemethods were tested on Cu and Zr-Y-N films and Cu and Cr-Ni-N films used as interlayers. It was found that both methods can improve the crystallinity of sputter deposited films. Dependences of the film structure on substrate temperature, negative substrate bias and substrate ion current density are given. The effect of the interlayer on the structure of the deposited film is also clearly demonstrated.

Název v anglickém jazyce

Control of structure in magnetron sputtered thin film

Popis výsledku anglicky

The paper describes two methods which can be used to control the film structure: (1) the energy delivered to the growing film, i.e. (i) substrate heating and (ii) ion bombardment; and (2) the interlayer inserted between the substrate and the film. Thesemethods were tested on Cu and Zr-Y-N films and Cu and Cr-Ni-N films used as interlayers. It was found that both methods can improve the crystallinity of sputter deposited films. Dependences of the film structure on substrate temperature, negative substrate bias and substrate ion current density are given. The effect of the interlayer on the structure of the deposited film is also clearly demonstrated.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and Coatings Technology

ISSN

02578972

e-ISSN

—

Svazek periodika

Vol. 142

Číslo periodika v rámci svazku

leden

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—