Vysokoteplotní oxidační odolnost vrstev Ta-Si-N s vysokým obsahem Si

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F06%3A00000454" target="_blank" >RIV/49777513:23520/06:00000454 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/49777513:23520/06:00000087

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

High-temperature oxidation resistance of Ta-Si-N films with a high Si content

Popis výsledku v původním jazyce

The high-temperature oxidation resistance of ternary Ta-Si-N films with a high Si content deposited by reactive dc magnetron sputtering on silicon substrates was systematically investigated by means of a symmetrical high-resolution thermogravimetry in aflowing air up to an annealing temperature of 1300°C. Additional analyses including optical microscopy, scanning electron microscopy, X-ray diffraction and the microhardness measurement were carried out as well

Název v anglickém jazyce

High-temperature oxidation resistance of Ta-Si-N films with a high Si content

Popis výsledku anglicky

The high-temperature oxidation resistance of ternary Ta-Si-N films with a high Si content deposited by reactive dc magnetron sputtering on silicon substrates was systematically investigated by means of a symmetrical high-resolution thermogravimetry in aflowing air up to an annealing temperature of 1300°C. Additional analyses including optical microscopy, scanning electron microscopy, X-ray diffraction and the microhardness measurement were carried out as well

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GP106%2F03%2FD009" target="_blank" >GP106/03/D009: Reaktivní depozice a charakterizace tenkých vrstev na bázi nových sloučenin</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2006

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and Coatings Technology

ISSN

0257-8972

e-ISSN

—

Svazek periodika

—

Číslo periodika v rámci svazku

—

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

4091

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—