Tvrdé nanokompozitní povlaky a-Si3N4/MeNx s vysokou teplotní stabilitou a oxidační odolností

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F07%3A00000335" target="_blank" >RIV/49777513:23520/07:00000335 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Hard a-Si3N4/MeNx nanocomposite coatings with high thermal stability and high oxidation resistance

Popis výsledku v původním jazyce

This article reports on a new class of amorphous a-Si3N4/MeNx nanocomposite coatings with a high content of Si3N4 phase; here Me=Zr, Ta, Mo and W. These nanocomposites exhibit high thermal stability against crystallization and high oxidation resistance if the metal Me incorporated in the nanocomposite is correctly selected. It was found that the Zr-Si-N film deposited on Si substrate exhibits no increase of the mass in thermogravimetric measurements performed in flowing air up to 1300°C, i.e. up to thetemperature that is the thermal limit for Si substrate but not for nanocomposite.

Název v anglickém jazyce

Hard a-Si3N4/MeNx nanocomposite coatings with high thermal stability and high oxidation resistance

Popis výsledku anglicky

This article reports on a new class of amorphous a-Si3N4/MeNx nanocomposite coatings with a high content of Si3N4 phase; here Me=Zr, Ta, Mo and W. These nanocomposites exhibit high thermal stability against crystallization and high oxidation resistance if the metal Me incorporated in the nanocomposite is correctly selected. It was found that the Zr-Si-N film deposited on Si substrate exhibits no increase of the mass in thermogravimetric measurements performed in flowing air up to 1300°C, i.e. up to thetemperature that is the thermal limit for Si substrate but not for nanocomposite.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Solid State Phenomena

ISSN

1012-0394

e-ISSN

—

Svazek periodika

—

Číslo periodika v rámci svazku

—

Stát vydavatele periodika

CH - Švýcarská konfederace

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

31

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—