High-rate pulsed reactive magnetron sputtering of oxide nanocomposite coatings
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F13%3A43915967" target="_blank" >RIV/49777513:23520/13:43915967 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2012.02.023" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2012.02.023</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2012.02.023" target="_blank" >10.1016/j.vacuum.2012.02.023</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
High-rate pulsed reactive magnetron sputtering of oxide nanocomposite coatings
Popis výsledku v původním jazyce
The article reports on the oxide nanocomposite coatings reactively sputtered by a pulsed dual magnetron and consists of two parts. The first part briefly describes main problems in the reactive sputtering of oxides. The second part is devoted to transparent oxide coatings. Two types of oxide coatings are described in detail. It is shown that coatings with relatively high hardness, low effective Young's modulus are highly elastic and exhibit an enhanced resistance to cracking.
Název v anglickém jazyce
High-rate pulsed reactive magnetron sputtering of oxide nanocomposite coatings
Popis výsledku anglicky
The article reports on the oxide nanocomposite coatings reactively sputtered by a pulsed dual magnetron and consists of two parts. The first part briefly describes main problems in the reactive sputtering of oxides. The second part is devoted to transparent oxide coatings. Two types of oxide coatings are described in detail. It is shown that coatings with relatively high hardness, low effective Young's modulus are highly elastic and exhibit an enhanced resistance to cracking.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GAP108%2F12%2F0393" target="_blank" >GAP108/12/0393: Tvrdé nanokompozitní vrstvy se zvýšenou houževnatostí a unikátními vlastnostmi</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2013
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Vacuum
ISSN
0042-207X
e-ISSN
—
Svazek periodika
87
Číslo periodika v rámci svazku
January
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
96-102
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—