Deposition of tungsten oxide films by reactive magnetron sputtering on different substrates.
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F22%3A00562485" target="_blank" >RIV/68378271:_____/22:00562485 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/61989592:15310/22:73617301
Výsledek na webu
<a href="https://doi.org/10.1116/6.0002012" target="_blank" >https://doi.org/10.1116/6.0002012</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1116/6.0002012" target="_blank" >10.1116/6.0002012</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Deposition of tungsten oxide films by reactive magnetron sputtering on different substrates.
Popis výsledku v původním jazyce
Tungsten oxide films are deposited with the help of reactive magnetron sputtering in an argon/oxygen gas mixture. Films are deposited on different substrates, in particular, on soda lime glass, fluorine-doped tin oxide coated glass, silicon (Si), and quartz (SiO2).
Název v anglickém jazyce
Deposition of tungsten oxide films by reactive magnetron sputtering on different substrates.
Popis výsledku anglicky
Tungsten oxide films are deposited with the help of reactive magnetron sputtering in an argon/oxygen gas mixture. Films are deposited on different substrates, in particular, on soda lime glass, fluorine-doped tin oxide coated glass, silicon (Si), and quartz (SiO2).
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
20506 - Coating and films
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2022
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Journal of Vacuum Science & Technology A : Vacuum, Surfaces and Films
ISSN
0734-2101
e-ISSN
1520-8559
Svazek periodika
40
Číslo periodika v rámci svazku
6
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
063402
Kód UT WoS článku
000892443000001
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-85139862837