Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Ground state atomic oxygen in high-power impulse magnetron sputtering: a quantitative study

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F17%3A43931446" target="_blank" >RIV/49777513:23520/17:43931446 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

    <a href="http://dx.doi.org/10.1088/1361-6463/aa560c" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1088/1361-6463/aa560c</a>

  • DOI - Digital Object Identifier

    <a href="http://dx.doi.org/10.1088/1361-6463/aa560c" target="_blank" >10.1088/1361-6463/aa560c</a>

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Ground state atomic oxygen in high-power impulse magnetron sputtering: a quantitative study

  • Popis výsledku v původním jazyce

    The ground state density of oxygen atoms in reactive high-power impulse magnetron sputtering discharges has been studied quantitatively. Both time-resolved and space-resolved measurements were conducted. The measurements were performed using two-photon absorption laser-induced fluorescence (TALIF), and calibrated by optical emission actinometry with multiple Ar emission lines. The results clarify the dynamics of the O ground state atoms in the discharge afterglow significantly, including their propagation and fast decay after the plasma pulse, as well as the influence of gas pressure, O2 admixture, etc.

  • Název v anglickém jazyce

    Ground state atomic oxygen in high-power impulse magnetron sputtering: a quantitative study

  • Popis výsledku anglicky

    The ground state density of oxygen atoms in reactive high-power impulse magnetron sputtering discharges has been studied quantitatively. Both time-resolved and space-resolved measurements were conducted. The measurements were performed using two-photon absorption laser-induced fluorescence (TALIF), and calibrated by optical emission actinometry with multiple Ar emission lines. The results clarify the dynamics of the O ground state atoms in the discharge afterglow significantly, including their propagation and fast decay after the plasma pulse, as well as the influence of gas pressure, O2 admixture, etc.

Klasifikace

  • Druh

    J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science

  • CEP obor

  • OECD FORD obor

    10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Návaznosti výsledku

  • Projekt

  • Návaznosti

    S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2017

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název periodika

    JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS

  • ISSN

    0022-3727

  • e-ISSN

  • Svazek periodika

    50

  • Číslo periodika v rámci svazku

    7

  • Stát vydavatele periodika

    GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

  • Počet stran výsledku

    13

  • Strana od-do

    „075204-1“-„075204-13“

  • Kód UT WoS článku

    000394096500001

  • EID výsledku v databázi Scopus

    2-s2.0-85011320431