Ground state atomic oxygen in high-power impulse magnetron sputtering: a quantitative study
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F17%3A43931446" target="_blank" >RIV/49777513:23520/17:43931446 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1088/1361-6463/aa560c" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1088/1361-6463/aa560c</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1088/1361-6463/aa560c" target="_blank" >10.1088/1361-6463/aa560c</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Ground state atomic oxygen in high-power impulse magnetron sputtering: a quantitative study
Popis výsledku v původním jazyce
The ground state density of oxygen atoms in reactive high-power impulse magnetron sputtering discharges has been studied quantitatively. Both time-resolved and space-resolved measurements were conducted. The measurements were performed using two-photon absorption laser-induced fluorescence (TALIF), and calibrated by optical emission actinometry with multiple Ar emission lines. The results clarify the dynamics of the O ground state atoms in the discharge afterglow significantly, including their propagation and fast decay after the plasma pulse, as well as the influence of gas pressure, O2 admixture, etc.
Název v anglickém jazyce
Ground state atomic oxygen in high-power impulse magnetron sputtering: a quantitative study
Popis výsledku anglicky
The ground state density of oxygen atoms in reactive high-power impulse magnetron sputtering discharges has been studied quantitatively. Both time-resolved and space-resolved measurements were conducted. The measurements were performed using two-photon absorption laser-induced fluorescence (TALIF), and calibrated by optical emission actinometry with multiple Ar emission lines. The results clarify the dynamics of the O ground state atoms in the discharge afterglow significantly, including their propagation and fast decay after the plasma pulse, as well as the influence of gas pressure, O2 admixture, etc.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Ostatní
Rok uplatnění
2017
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS
ISSN
0022-3727
e-ISSN
—
Svazek periodika
50
Číslo periodika v rámci svazku
7
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
13
Strana od-do
„075204-1“-„075204-13“
Kód UT WoS článku
000394096500001
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-85011320431