Superhard nanocomposite Ti1-xAlxN films prepared by magnetron sputtering

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F99%3A00042289" target="_blank" >RIV/49777513:23520/99:00042289 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Superhard nanocomposite Ti1-xAlxN films prepared by magnetron sputtering

Popis výsledku v původním jazyce

The paper reports the results of an investigation of Ti1-xAlxN films sputtered from alloyed TiAl (60/40 at.%) terget by a planar round unbalanced magnetron. It was found that (i) the continuous change in pN2 induces a dramatic change in film structure, (ii) the microhardness of Ti1-xAlxN films produced at different values of pN2 correlate well with changes in the film structure and (iii) the superhard (>= 40 GPa) films are two-phase nanocomposities.

Název v anglickém jazyce

Superhard nanocomposite Ti1-xAlxN films prepared by magnetron sputtering

Popis výsledku anglicky

The paper reports the results of an investigation of Ti1-xAlxN films sputtered from alloyed TiAl (60/40 at.%) terget by a planar round unbalanced magnetron. It was found that (i) the continuous change in pN2 induces a dramatic change in film structure, (ii) the microhardness of Ti1-xAlxN films produced at different values of pN2 correlate well with changes in the film structure and (iii) the superhard (>= 40 GPa) films are two-phase nanocomposities.

Druh

C - Kapitola v odborné knize

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

1999

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název knihy nebo sborníku

Superhard nanocomposite Ti1-xAlxN films prepared by magnetron sputtering

ISBN

8090272401

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

—

Počet stran knihy

—

Název nakladatele

AV ČR

Místo vydání

Praha

Kód UT WoS kapitoly

—