Superhard nanocomposite Ti1-xAlxN films prepared by magnetron sputtering

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F00%3A00053577" target="_blank" >RIV/49777513:23520/00:00053577 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Superhard nanocomposite Ti1-xAlxN films prepared by magnetron sputtering
Popis výsledku v původním jazyce
Ti1-xAlxN films were sputtered from an alloyed TiAl (60/40 at.%) target in Ar and Ar + N2 mixture at a constant total pressure of 0.5 Pa by a planar round unbalanced magnetron of 100 mm in diameter. The superhard films are nc-TiAlN/AlN nanocomposite films composed of relatively large TiAlN grains, oriented in one direction and surrounded by an amorphous and/or nc-AlN. These films exhibit a high elastic recovery up to 74 % and contain about 20 at.% Ti, 25 at.% Al and 55 at.% N.
Název v anglickém jazyce
Superhard nanocomposite Ti1-xAlxN films prepared by magnetron sputtering
Popis výsledku anglicky
Ti1-xAlxN films were sputtered from an alloyed TiAl (60/40 at.%) target in Ar and Ar + N2 mixture at a constant total pressure of 0.5 Pa by a planar round unbalanced magnetron of 100 mm in diameter. The superhard films are nc-TiAlN/AlN nanocomposite films composed of relatively large TiAlN grains, oriented in one direction and surrounded by an amorphous and/or nc-AlN. These films exhibit a high elastic recovery up to 74 % and contain about 20 at.% Ti, 25 at.% Al and 55 at.% N.

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2000
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)