Optické vlastnosti transparentních vodivých vrstev ZnO:Al deponované na naprašovací aparatuře TF600

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F07%3A00000035" target="_blank" >RIV/49777513:23640/07:00000035 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optical properties of ZnO:Al thin films deposited on TF600 sputtering system

Popis výsledku v původním jazyce

Transparent conducting aluminium - doped Zinc oxide (ZnO:Al) thin films were prepared on glass substrates by the BOC Edwards TF 600 vacuum coating system. Deposition was carried out by rf magnetron sputtering at room temperature. Optical properties (integral transmittance and optical band gap) of the ZnO:Al films were investigated in terms of the deposition conditions. The transmittance of these films in the range of 400 &#8211; 1000 nm wavelength was mostly over 90 %, the optical band gap decreased with growing thickness.

Název v anglickém jazyce

Optical properties of ZnO:Al thin films deposited on TF600 sputtering system

Popis výsledku anglicky

Transparent conducting aluminium - doped Zinc oxide (ZnO:Al) thin films were prepared on glass substrates by the BOC Edwards TF 600 vacuum coating system. Deposition was carried out by rf magnetron sputtering at room temperature. Optical properties (integral transmittance and optical band gap) of the ZnO:Al films were investigated in terms of the deposition conditions. The transmittance of these films in the range of 400 &#8211; 1000 nm wavelength was mostly over 90 %, the optical band gap decreased with growing thickness.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JJ - Ostatní materiály

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/1M06031" target="_blank" >1M06031: Materiály a komponenty pro ochranu životního prostředí</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Vákuové technológie - nové trendy vo výskume a aplikáciách

ISBN

978-80-969435-3-1

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

3

Strana od-do

116-118

Název nakladatele

Slovenská vákuová spoločnosť

Místo vydání

Bratislava

Místo konání akce

Štrbské Pleso

Datum konání akce

1. 1. 2007

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—