Ověřená technologie k výrobě tenkovrstvého senzoru/aktuátoru

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F20%3A43961317" target="_blank" >RIV/49777513:23640/20:43961317 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://www.ntc.zcu.cz/vysledky/ot/NTC-OTE-20-005.html" target="_blank" >http://www.ntc.zcu.cz/vysledky/ot/NTC-OTE-20-005.html</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Ověřená technologie k výrobě tenkovrstvého senzoru/aktuátoru

Popis výsledku v původním jazyce

V rámci spolupráce s firmou Krystaly Hradec Králové a.s. byla řešena problematika technologického postupu k výrobě tenkovrstvého piezoelektrického FBAR senzoru určeného na použití v technologických aplikacích nebo v přístrojích. Cílem práce bylo vytvořit vzorek s vrtvou ZnO, která vykazuje silnou preferenční orientaci a vysokou resistivitu. Těchto vlastností bylo doženo optimalizací depoziční teploty a oxidových podmínek během přípravy vrstev, které ovlivňují dominantní bodové defekty ve vrstvě. Dominantní defekty za daných podmínek a jejich elektrické vlastnosti byly určeny z kvantově mechanických výpočtů. Tyto vhodné defekty snižují množství volného náboje ve vrstvě a tím zásadně snižují její vodivost. Dále byly optimalizována příprava izolační nevodivné vrstvy a elektrody, aby nedocházelo ani ke stínění buzeného elektrického napětí volným nábojem z elektrod.

Název v anglickém jazyce

Proven Technology for the Production of a Thin Film Sensor/Actuator

Popis výsledku anglicky

Within the framework of cooperation with Krystaly Hradec Králové a.s., the issue of the technological process for the production of a thin-film piezoelectric FBAR sensor intended for use in technological applications or in instruments was solved. The aim of the work was to create a sample with a ZnO films that shows strong preferential orientation and high resistance. These properties have been achieved by optimising the deposition temperature and oxide conditions during the preparation of the films, which affect the dominant point defects in the layer. Dominant defects under given conditions and their electrical properties were determined from quantum mechanical calculations. These suitable defects reduce the amount of free charge in the layer and thus significantly reduce its conductivity. In addition, the preparation of an insulating non-conductive film and electrodes was optimized to avoid shielding the generated electrical voltage with free charge from electrodes.

Druh

Z_tech - Ověřená technologie

CEP obor

—

OECD FORD obor

20501 - Materials engineering

Projekt

<a href="/cs/project/TN01000015" target="_blank" >TN01000015: Národní centrum kompetence STROJÍRENSTVÍ</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2020

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu

NTC-OTE-20-005

Číselná identifikace

NTC-OTE-20-005

Technické parametry

Ověřená technologie byla oveřena pomocí vytvořeného funkčního modelu FBAR rezonátoru s naprašovanou ZnO multivrstvou na křemíkovém substrátu s nevodivou vrstvou. Aktivní vrstva ZnO byla ve směru osy C vytvořena se silnou preferenční vrtsvou a zároveň s elektrickou resistivitou alespoň 10e8 Ωcm. Horní a spodní elektroda je oddělena izolační vrstvou AL2O3. Ověřená technologie je výsledkem účastníků projektu, viz Konsorciální smlouva o účasti na řešení projektu TN01000015 mezi příjemcem VÚTS, a. s., (IČ 46709002), dalším účastníkem ZČU v Plzni (IČ 49777513) a dalšími 24 subjekty ze dne 16. 5. 2018. David Lávička, Západočeská univerzita v Plzni (IČO 49777513), Nové technologie - výzkumné centrum, Univerzitní 8, 306 14 Plzeň, 377634712, dlavicka@ntc.zcu.cz. Viz odkaz http://www.ntc.zcu.cz/vysledky/ot/NTC-OTE-20-005.html

Ekonomické parametry

Vyvinutá ověřená technologie umožňuje tyto materiály sériově vyrábět a současně výrazně zlevnit jejich výrobu pomocí optimalizované relativně jednoduché přípravy. Uplatnitelnost vyvinuté ověřené technologie je zaměřena do oblasti miniaturních senzorů a aktuátorů pro robotiku, biomedicínu a IoT apod.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

49777513

Název vlastníka

Západočeská univerzita v Plzni

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

http://www.ntc.zcu.cz/vysledky/ot/NTC-OTE-20-005.html