Depozice tenkých TiOx vrstev pomocí tryskových zdrojů plazmatu

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60076658%3A12410%2F07%3A00008092" target="_blank" >RIV/60076658:12410/07:00008092 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Deposition of thin TiOx layers using plasma sources of jet types

Popis výsledku v původním jazyce

The contribution is focused on comparative diagnostics of deposited TiOx thin films created by different plasma sources under different experimental conditions. The TiOx layer were created from titanium isopropoxide vapours delivered into discharges zones of: (i) Ar/O2 surfatron discharge, working at microwave frequency 2.45 GHz, operated at reduced pressure and (ii) He/N2 pulsed RF driven barrier-torch discharge burning at open atmosphere. The layers were deposited on glass substrates and subsequentlydiagnosed by XRD before and also after thermal annealing and AFM measurements.

Název v anglickém jazyce

Deposition of thin TiOx layers using plasma sources of jet types

Popis výsledku anglicky

The contribution is focused on comparative diagnostics of deposited TiOx thin films created by different plasma sources under different experimental conditions. The TiOx layer were created from titanium isopropoxide vapours delivered into discharges zones of: (i) Ar/O2 surfatron discharge, working at microwave frequency 2.45 GHz, operated at reduced pressure and (ii) He/N2 pulsed RF driven barrier-torch discharge burning at open atmosphere. The layers were deposited on glass substrates and subsequentlydiagnosed by XRD before and also after thermal annealing and AFM measurements.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA202%2F05%2F2242" target="_blank" >GA202/05/2242: Studium nových nízkoteplotních plazmatických zdrojů pracujících za atmosférického tlaku z hlediska jejich využití pro depozice tenkých vrstev</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

In: Matuška, J., Matějčík, S., Skalný, J.D. (ed.): Proceedings of SAPP XVI, 2007

ISBN

978-80-89186-13-6

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

139-140

Název nakladatele

Univerzita Komenského Bratislava

Místo vydání

Bratislava

Místo konání akce

—

Datum konání akce

—

Typ akce podle státní příslušnosti

—

Kód UT WoS článku

—