Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

TiOx surface properties in dependency on Glancing Angle Deposition parametres

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60076658%3A12410%2F11%3A43883191" target="_blank" >RIV/60076658:12410/11:43883191 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    TiOx surface properties in dependency on Glancing Angle Deposition parametres

  • Popis výsledku v původním jazyce

    The aim of this paper is to show the importance of Glancing Angle Deposition parameters on morphology and surface properties thin TiOx films. Special interest was focused on the roughness investigated layers. Thin films were deposited by DC unbalanced magnetron sputtering at low temperature. Four types of architecture were achieved by Glancing Angle Deposition Methods. Those layers were diagnosed by AFM and SEM. TiNxOy films were investigated besides the TiOx layers. All the films were deposited for twotyped of GLAD, namely for Reactive Gas Constant Flow (RGCF) and Reactive Gas Pulsing Proccess (RGPP) during the deposition. The influence of deposition method is investigated in focus on surface properties.

  • Název v anglickém jazyce

    TiOx surface properties in dependency on Glancing Angle Deposition parametres

  • Popis výsledku anglicky

    The aim of this paper is to show the importance of Glancing Angle Deposition parameters on morphology and surface properties thin TiOx films. Special interest was focused on the roughness investigated layers. Thin films were deposited by DC unbalanced magnetron sputtering at low temperature. Four types of architecture were achieved by Glancing Angle Deposition Methods. Those layers were diagnosed by AFM and SEM. TiNxOy films were investigated besides the TiOx layers. All the films were deposited for twotyped of GLAD, namely for Reactive Gas Constant Flow (RGCF) and Reactive Gas Pulsing Proccess (RGPP) during the deposition. The influence of deposition method is investigated in focus on surface properties.

Klasifikace

  • Druh

    O - Ostatní výsledky

  • CEP obor

    BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    <a href="/cs/project/KAN101120701" target="_blank" >KAN101120701: Nanokompozitní vrstvy a nanočástice vytvářené v nízkotlakém plazmatu pro povrchové modifikace</a><br>

  • Návaznosti

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2011

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů