Thermodynamic of Gas-Phase Parasitic Reactions in AlGaN MOVPE Growth.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22310%2F02%3A00006500" target="_blank" >RIV/60461373:22310/02:00006500 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Thermodynamic of Gas-Phase Parasitic Reactions in AlGaN MOVPE Growth.

Popis výsledku v původním jazyce

The Lewis acid-base adduct TMAl:NH3 formation and the subsequent methane elimination leading to the trimeric amide [DMAlNH2]3 is the dominant reaction pathway for Al-containing species at low temperatures and atmospheric pressure. Considering the readilycondensation of trimeric amide complexes, these findings can explain the depletion of aluminium in the gaseous phase and the deterioration of the Al incorporation into the growing layers. The pressure reduction has the significant influence on the gas -phase reaction at low temperatures due to enhancement of large molecules dissociation.

Název v anglickém jazyce

Thermodynamic of Gas-Phase Parasitic Reactions in AlGaN MOVPE Growth.

Popis výsledku anglicky

The Lewis acid-base adduct TMAl:NH3 formation and the subsequent methane elimination leading to the trimeric amide [DMAlNH2]3 is the dominant reaction pathway for Al-containing species at low temperatures and atmospheric pressure. Considering the readilycondensation of trimeric amide complexes, these findings can explain the depletion of aluminium in the gaseous phase and the deterioration of the Al incorporation into the growing layers. The pressure reduction has the significant influence on the gas -phase reaction at low temperatures due to enhancement of large molecules dissociation.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA104%2F00%2F0572" target="_blank" >GA104/00/0572: Příprava a aplikace epitaxních vrstev nitridů 3. podskupiny pro optické vlnovodné struktury se zaměřením na senzorové aplikace</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2002

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Phys.Status Solidi

ISSN

0031-8957

e-ISSN

—

Svazek periodika

Neuveden

Číslo periodika v rámci svazku

1

Stát vydavatele periodika

DE - Spolková republika Německo

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

133-136

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—